【課題】スケールの位置情報を高精度に検出する。
【解決手段】移動スケール２４と、受光素子２６との間には、凹型シリンドリカルレンズ２５が設けられている。これにより、移動スケール２４を通過した光は、円筒面波となり、受光素子２６の受光面上の光のＹ軸方向の干渉縞の発生が防止される。この干渉縞による干渉光の光強度の変化は、受光素子２６で検出される光電変換信号にノイズ成分として含まれるようになるので、干渉縞の発生を防止すれば、移動スケール２４の位置情報を高精度に検出することができるようになる。 （もっと読む）