【課題】絞り駆動部材が開放絞り位置に位置しているときの可動部材の位置を正確に検出する。
【解決手段】アダプターは、絞り駆動部材を有する交換レンズと、カメラボディとを接続する。アダプターは、絞り駆動部材の少なくとも一部と接触した状態で所定範囲を移動可能な可動部材３１０と、可動部材３１０に複数のギアからなるギア列を介して接続されたアクチュエーター３８３と、ギア列においてアクチュエーター３８３から可動部材３１０への動力伝達経路上に設けられ、可動部材３１０側に対するアクチュエーター３８３側からの過剰な動力が伝達することを防止する摩擦連結部４０６と、可動部材３１０の可動または停止の状態を検出するエンコーダー３８４と、を有する。ギヤ列の複数のギアは、ギア４０１，４０３，４０４，４０５，４０７，４１５，４１６，４１８，３８５，３７３を含む。 （もっと読む）

【課題】従来の干渉計に比べて高精度な移動体の位置情報の計測を可能にする。
【解決手段】露光装置は、基板を保持して、ＸＹ平面内で移動し、ＸＹ平面に交差する反射面１３４を有するステージＷＳＴと、計測装置２０Ｙ’とを備えている。計測装置は、ステージＷＳＴの上方に配置され反射面１３４を介して入射した光ビームを回折させて反射面１３４に戻す固定スケール１３５と、反射面１３４に戻された光ビームを検出する検出部（１２４Ａ、１２４Ｂ、１２６、２８）と、を有する。計測装置は、固定スケール１３５からの戻りビームを、再度反射面１３４を経由させることで得られる前記光ビームの複数の回折ビームの干渉光を前記検出部で検出することで、ステージＷＳＴのＹ軸方向の位置を計測する。 （もっと読む）

【課題】露光光の光路空間に満たされた液体の流出を抑え、露光精度及び計測精度を維持できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置ＥＸは、露光光ＥＬの光路空間Ｋ１に対して所定位置に設けられ、液体ＬＱを回収する回収口２２と、光路空間Ｋ１に対して回収口２２の外側に設けられ、気体を吹き出す第１吹出口３２と、光路空間Ｋ１に対して第１吹出口３２の外側に設けられ、気体を吹き出す第２吹出口５２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】モータに連結されたロータリーエンコーダ等の角度検出器の回転軸と中心軸との間に軸ずれがある場合でも、多くのメモリ容量を要することなく、簡単な演算により補正量を演算して回転角度を正確に検出し、高精度な位置決め制御を可能にする。
【解決手段】モータ回転軸等の回転体の回転角度を検出するロータリーエンコーダ６と、エンコーダ６による角度検出値を、その軸ずれによる検出誤差に相当する補正量を用いて補正する位置補正器７と、位置補正器７から出力される補正後の角度検出値と位置指令とを比較して位置偏差を求める位置比較器１と、前記位置偏差をゼロとするように前記回転体の駆動源としてのモータ４を制御するフィードバック制御器２，モータ駆動装置３を備える。 （もっと読む）

【課題】投影光学系を介した光を良好に受光できる受光器を有する露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置は、投影光学系ＰＬの像面側に配置された基板Ｐに対して投影光学系ＰＬと液体ＬＱとを介して露光光を照射することによって基板Ｐを露光するものであって、投影光学系ＰＬの像面側に配置されたスリット部７１を有するスリット板７５を介して投影光学系ＰＬを通過した光を受光する受光器９０を備え、受光器９０を構成する光学素子７６とスリット板７５との間に液体ＬＱが満たされている。 （もっと読む）

【課題】装置の姿勢に拘わらず、粉体を安定して吐出させ易い粉体吐出ユニット、粉体吐出装置、吐出方法、粉体噴出装置を提供する。
【解決手段】粉体及び吐出用気体を収容可能な収容室３２と、収容室３２内の粉体と吐出用気体とを吐出可能な吐出口３７と、収容室３２内の吐出口３７の近傍に振動可能に配置され、吐出口３７の開口より大きい可動駒４５と、収容室３２内の可動駒４５に対して吐出口３７側に、吐出用気体を供給可能な第１の気体供給口４１と、収容室３２内の可動駒４５に対して吐出口３７とは反対側に、吐出用気体を供給可能な第２の気体供給口４２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】表示パネルを構成するためのガラス基板において、欠陥を修正する技術を提供する。
【解決手段】本発明のガラス基板の欠陥修正方法は、ガラス基板１に形成された内部泡１ｂの位置する突起１ｐに対して、アルミナからなる砥粒１２ａを噴射して該ガラス基板１から少なくとも上記内部泡１ｂを含む領域のガラス材料の除去加工を行うことにより、ガラス基板１へのダメージを与える虞をなくして、ガラス基板１の内部泡１ｂを完全に修正することができる。 （もっと読む）

【課題】ラットホール、アーチング・ブリッジ等の粉体特有の現象によって粉体の噴射の途中で粉体が供給されなくなる事態が生じることがなく、微細粒子であっても粉体噴射が可能で、またノズル構造、姿勢に何ら制限がない、粉体噴射装置を提供すること。
【解決手段】搬送流体（圧縮流体Ｐ_２）により粉体１１を搬送する粉体搬送路１２と、前記粉体を収容保持し、粉体出口１４ａが前記粉体搬送路１２内に臨む粉体収容保持部（カートリッジ１４）と、前記粉体を前記粉体出口から前記粉体搬送路内に押し出す粉体押し出し機構１５と、前記粉体と前記搬送流体との混合流体２４を噴射させる噴射ノズル１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】光学式エンコーダの移動スケールに入射する照明光の利用効率を向上する。
【解決手段】移動スケール２１の位置計測に用いる照明光Ｌを、三角プリズム１７を用いて、空間的に（或いは物理的に）照明光Ｌ１と照明光Ｌ２とに分割し、移動スケール２１上の同一位置へ入射させることで、照明光Ｌ１と照明光Ｌ２との干渉を利用して、移動スケール２１の位置情報を検出する。空間的に分割された照明光Ｌ１と照明光Ｌ２は、例えば照明光が回折格子によって±１次回折されることで生じる±次回折光とは異なり、移動スケール２１の同一位置へ入射させて完全に重ねたとしても相互に干渉するため、干渉に寄与しない無駄な照明光を最小限に押さえ、照明光の利用効率を向上することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】リング状磁石の位置合わせが容易で、かつリング状磁石の空転を防止することガ可能なロータリエンコーダを提供すること。
【解決手段】所定の磁極を有するリング状磁石２１と、所定のパターンを有する目盛円板６と、前記リング状磁石と前記目盛円板とを備えて測定対象の回転軸に固定されて回転するハブ部２と、前記所定の磁極と前記所定のパターンを検出するそれぞれの検出手段１３、２２と、前記測定対象の回転情報を取得するために前記検出手段からの検出信号を処理する電気部品を実装した回路基板部４と、前記ハブ部を回転可能に収納する本体モールド部３とを有し、前記リング状磁石は、前記ハブ部の前記回路基板部側に配設される部材２ｂに形成された切欠き部２ｃに係合する凸部２１ａを有するロータリエンコーダ１。 （もっと読む）