【課題】 半導体素子に過剰な電流が流れることを防止可能な検査装置等を提供する。
【解決手段】 検査装置１００は、半導体素子１０と、電源２０と、スイッチング素子２４と、制御部５０と、切替部７０と、検査部２６とを備える。スイッチング素子２４が電源２０と半導体素子１０との間を接続し、且つ切替部７０が半導体素子１０をオンさせる状態で、電源２０によって半導体素子１０に電流が流れる時、制御部５０は、半導体素子１０が仮に電流破壊した時のスイッチング素子２４に流れ得る飽和電流を第１の値に設定する。スイッチング素子２４が電源２０と半導体素子１０との間を接続し、且つ切替部７０が半導体素子１０をオフさせる状態で、電源２０が半導体素子１０に電圧を印加する時、制御部５０は、半導体素子１０が仮に電圧破壊した時のスイッチング素子２４に流れ得る飽和電流を第１の値よりも小さい第２の値に設定する。 （もっと読む）

【課題】 電子増倍率を正確に測定可能な電子増倍率の測定方法を提供する。
【解決手段】 固体撮像素子１０を備える電子増倍型撮像装置１において、予め設定された所定の電子増倍率で、第１光量の入射光による第１増倍画像と、第２の光量の入射光による第２増倍画像と、を取得し、第１増倍画像に含まれる画素の輝度平均値及び輝度分散平均値と、第２増倍画像に含まれる画素の輝度平均値及び輝度分散平均値と、を算出する。そして、算出した輝度平均値及び輝度分散平均値を用いて、第１及び第２増倍画像の変換係数を算出し、算出した変換係数と、予め保持する基準電子増倍率における変換係数と、を用いて固体撮像素子１０の実際の電子増倍率を算出する。 （もっと読む）

【課題】受光素子の交流特性の検査を高い精度で行うことで受光素子の品質を確保することが可能な受光素子の検査装置を提供する。
【解決手段】照射された光に応じた電気信号を出力する受光素子１０を検査する検査装置１において、受光素子１０を検査する交流検査信号として、データ通信規格に準拠した同期信号および検査パターン信号を発生する検査信号発生部２と、交流検査信号を交流検査光として出射する光照射部３と、受光素子１０が交流検査光を受光することで出力される出力信号を第２記憶部８２に蓄積して、同期信号で同期したタイミングで第１記憶部８１に蓄積した検査パターンデータと比較し、比較した結果から受光素子１０の良否を判定する比較判定部８３とを備えた。 （もっと読む）

【課題】半導体装置に厚さばらつきがあっても安定して電気的特性を検査できるようにする。
【解決手段】半導体集積回路装置１と検査回路基板3とを電気的に接続するために用いる検査装置6に、電気絶縁部12内に導電性の接触子11を有し、接触子11の一端部が検査回路基板3のランド電極4に対向するように配置される異方性導電シート13と、接触子11の他端部に外部電極2が対向するように配置された半導体集積回路装置1を押圧して接触子11を検査回路基板3のランド電極4との間に挟み込むための押圧部材20，駆動部材21を有した荷重部10と、接触子11の両端に接続して電流または電圧を印加し接触子11の抵抗を検出する抵抗測定部15と、接触子11の抵抗値に基づいて荷重部10による半導体集積回路装置1の移動量を制御する制御部16とを備える。 （もっと読む）

【課題】 測定可能なＶＳＷＲおよび電力が大きく、短時間測定等に優れたロードプルまたはソースプル測定用チューナを提供する。
【解決手段】 伝送線路ＴＬ１と、伝送線路ＴＬ１に直列に接続された第１の可変容量コンデンサＣｔ１と、伝送線路ＴＬ１と接地との間に接続された第２の可変容量コンデンサＣｔ２とからなり、第１および第２の可変容量コンデンサＣｔ１，Ｃｔ２は、入力端子と出力端子との間に、印加電圧により誘電率が変化する薄膜誘電体層を用いた複数の可変容量素子Ｃ１〜Ｃ５が直流的に並列接続され、かつ高周波的に直列接続されているロードプルまたはソースプル測定用チューナである。バイアス信号による第１および第２の可変容量コンデンサＣｔ１，Ｃｔ２の容量変化率を最大限に利用して短時間でインピーダンスを変化させることができ、かつ測定可能なＶＳＷＲおよび電力が大きく、短時間測定等に優れたものとすることができる。 （もっと読む）