【課題】基板検査装置の診断を行う際の作業効率を従来よりも向上させることができるスイッチプローブを提供する。
【解決手段】 第１バレル５６ｂと、一部が第１バレル内に収容され、基板検査の際に部品が実装されていると、第１バレル内に押し込まれる第１プランジャ５６ａと、内壁に突起が形成され、第１バレル内に固定されている第２バレル５６ｅ、第１バレル内で、一部が第２バレル内に収容され、突起が係合される係合部を有し、第１プランジャが第１バレル内に押し込まれたときに、第１プランジャと接触する第２プランジャ５６ｄと、第１プランジャが第１バレル内に押し込まれても、第１プランジャと接触しない位置で第２プランジャを一時的に固定するための棒状部材５６ｇとを備える。 （もっと読む）

【課題】スイッチの動作時に半導体素子に印加されうるスパークを低減させ、電気的特性測定値の信頼性を向上させることができるプローブカード及びそれを備えるテスト装置を提供する。
【解決手段】本発明によるプローブカードは、第１入力端と第１入力プローブピンとを接続する第１入力端ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）スイッチと、第１出力端と第１出力プローブピンとを接続する第１出力端ＭＥＭＳスイッチとを有し、前記第１入力端ＭＥＭＳスイッチは、動作信号を受信する制御部と、前記第１入力端と前記第１入力プローブピンとを接続する接続部とを含み、前記第１出力端ＭＥＭＳスイッチは、動作信号を受信する制御部と、前記第１出力端と前記第１出力プローブピンとを接続する接続部とを含む。 （もっと読む）

【課題】導体パターンについての検査における検査精度を向上させ得るプローブを提供する。
【解決手段】検査用信号Ｓｅが供給されているフレキシブル基板１００の導体パターン１０２に近接させられた状態において検査用信号Ｓｅの供給に伴って導体パターン１０２との間の静電容量Ｃ０を介して流れる電流信号Ｓｉを検出する検出用電極２１と、検出用電極２１の周囲に絶縁体を挟んで設けられたシールド電極２５とを備え、検出用電極２１とシールド電極２５との間には、フローティング状態に維持されたフローティング電極２３が第１絶縁体２２および第２絶縁体２４を挟んで設けられている。 （もっと読む）

【課題】半導体デバイスの測定経路を切り替えられ、検査用の測定装置の回路基板の実装面積を確保し、チャンネル数が制限された測定装置においても多数個同測ができる半導体デバイス検査用の接触治具等を提供する。
【解決手段】導電領域１８ｃと絶縁領域１８ｂとを有する筒状体１８と、この筒状体１８内に配置されたばね１７と、このばね１７の両端側に配置されて、筒状体１８内をその摺動部１５ａ、１６ａで摺動するとともに筒状体１８内から外部に出退自在な接触部１５ｂ、１６ｂを有する２つの接触子１５、１６とを備え、筒状体１８において導電領域１８ｃと絶縁領域１８ｂとを一方の接触子１５の摺動部１５ａの摺動方向に対して区分して形成し、半導体デバイスの外部端子が前記一方の接触子を押し下げたストローク量により、接触治具１０を導電状態と絶縁状態とに切り替えられるよう構成した。 （もっと読む）

【課題】 直径が８インチ以上で被検査電極のピッチが極めて小さいウエハでも、良好な電気的接続状態が確実に達成され、温度変化による位置ずれが防止され、良好な電気的接続状態が安定に維持される探針部材、プローブカードおよびウエハ検査装置の提供。
【解決手段】 本発明の探針部材は、開口が形成された金属よりなるフレーム板、およびその表面に、開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の接点膜よりなり、接点膜は、柔軟な絶縁膜に複数の電極構造体が配置されてなるシート状プローブと、複数の開口が形成されたフレーム板、およびこのフレーム板に、それぞれ一の開口を塞ぐよう配置されて支持された複数の弾性異方導電膜よりなり、シート状プローブの裏面に配置された異方導電性コネクターとを有し、シート状プローブにおけるフレーム板の開口は、異方導電性コネクターのフレーム板における面方向の外形を受容し得る大きさとされている。 （もっと読む）