【課題】微弱な放電発光を感度良く安全に測定して、測定器を破壊させること無しに絶縁破壊直前の現象を取得する。
【解決手段】本発明は、計測対象である絶縁ガスを密閉し、かつ放電発光を測定する観測窓を有する圧力容器と、この圧力容器内に設置して、電源より電圧を印加して不平等電界を発生させる電源側電極及び接地側電極を有する電極系と、電源側電極と接地側電極の間に設置した固体絶縁物と、この固体絶縁物上の帯電を除去する帯電除去装置とを備えて、両電極間に電圧を印加して放電発光を測定する。 （もっと読む）

【課題】 周波数可変方式の高周波電源装置を用いて放電を伴う負荷に高周波電力を供給する場合、負荷における放電中にインピーダンス整合を行うには、機械的寿命があり、高価で大型である自動整合器を用いる必要があった。また、整合時間の短縮が困難であった。
【解決手段】 高周波電源装置１と負荷５との間に固定整合器３を設け、負荷５において放電が発生すると、周波数制御回路１１は、発振回路１２が予め定められた第１の発振周波数ｆ１から第２の発振周波数ｆ２（このｆ２を基準周波数ｆ０とする）で発振するように制御し、次に、基準周波数ｆ０を含む予め定められた周波数範囲内で発振周波数を変更させながら反射係数絶対値Γが最小となる発振周波数を特定する処理を繰り返すことによって、反射係数絶対値Γが小さくなるように発振回路１２の発振周波数を制御する。 （もっと読む）