【課題】アクチュエータを介した光学基板の変動に支障を来たすことなく、温度変化が生じても光学基板に対向配置されている容量センサ電極同士の光学基板の径方向のずれを抑えて高精度に波長制御できる可変分光素子の提供。
【解決手段】光学基板２と、面２ａに設けられた容量センサ電極３と、光学基板２を面２ａが内側を向くように支持する筐体１と、光学基板２に対向配置された第２の光学基板４と、面４ａに容量センサ電極３に対して対向配置された容量センサ電極５と、光学基板４以下の熱膨張率を持つ材料からなり、少なくとも面４ｂに環状に接合する接合面６ａ１を有する支持部材６ａと、支持部材６ａに比べてヤング率が小さい材料からなり、面６ａ２に間接的又は直接的に接合する支持部材６ｂと、面６ｂ２に接合し、光学基板２と光学基板４との間隔方向に伸縮するアクチュエータ７を有する。 （もっと読む）

【課題】従来から用いられる載置台に載置された試料を加熱する方法では、複数の発熱体を使用することで、温度に斑が生じたり、載置台の回転によって生じる風、特に乱流によって試料の温度にばらつきが生じる恐れがあった。
【解決手段】本件発明では、複数個の試料を円形に載置可能で、その円の中心を中心として回転する載置台と、載置台の下に空間を隔てないで前記回転の軌跡に沿った円環状の円環状発熱体と、載置台と円環状発熱体とを収納して内部を一定雰囲気に保つチャンバと、チャンバに設けられる分光測定用ガラス窓と、前記測定のための分光測定部と、を有する分光測定装置を提供する。これにより、載置台に載置された複数の試料を均一に加熱することが可能となり、正確な分光測定を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
従来の、測定者に依存した感覚的な窒素パージ完了の判定基準を客観化し、測定の信頼性を改善する。また窒素パージ完了の判定を無人化・自動化することにより省力化する。
【解決手段】
ＣＶ演算器２１に窒素パージ開始指示を与え、窒素パージを開始する。窒素パージ開始時点を起点として増幅器７Ｎからの信号をＣＶ演算器２１に入力し、あらかじめ定めた期間内の信号のＣＶ値を検定する。ＣＶ演算器２１はＣＶ値があらかじめ定めた閾値以下になるまで、検定の起点を進めて検定を繰り返す。ＣＶ値が閾値以下になった時にＣＶ演算器２１から増幅器７Ｎに本測定開始信号Ｒを出力し、また表示器２２に窒素パージ完了のメッセージを表示する。本測定開始信号Ｒによって増幅器７Ｎから本測定出力ＵＮが出力され、本測定が開始される。 （もっと読む）

【課題】
冷却機構を有する光検出器に結露を生じさせず、かつ、パージガスの消費を抑制する。
【解決手段】
分光器からの光を光検出素子に導く導光路と、前記光検出素子を冷却する冷却機構と、前記温度調節機構を外気から遮断する筐体と、前記筐体に通気孔を設け前記通気孔を経て前記筐体内のガスをパージするパージ機構を具備する光検出器において、前記筐体内の湿度を測定するセンサーを設け、前記筐体内の湿度があらかじめ定めた湿度以下になるまで前記筐体内のパージを行った後、前記冷却機構により冷却を開始する。 （もっと読む）