【課題】簡単、低コストで効率的に電気伝導率、移動度、及び不純物準位の特定が可能な弾性表面波を用いた半導体の電気伝導特性の非接触測定方法及びその装置を提供する。
【解決手段】両側に入力電極１１及び出力電極１２を備えた平板状の圧電体１３の入力電極１１及び出力電極１２の間の領域に対して、隙間を設けて平板状の半導体１４を平行に配置する第１工程と、入力電極１１に高周波入力電圧を印加して圧電体１３に弾性表面波を発生させ、弾性表面波に伴う交流電界を半導体１４に印加しながら弾性表面波を出力電極１２に向けて移動させて、出力電極１２で弾性表面波による高周波出力電圧を測定する第２工程と、高周波入力電圧の振幅電圧値V_ｉｎ及び高周波出力電圧の振幅電圧値V_ｏｕｔから、弾性表面波が入力電極１１から出力電極１２に移動する伝搬率V_ｏｕｔ／V_ｉｎを演算し、伝搬率を用いて半導体１４の電気伝導率の相対値を求める第３工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】電気絶縁体材料（静電気拡散性や導電性の表面処理がなされているものを含む）の表面抵抗値を非接触で測定する。
【解決手段】表面抵抗値測定装置１００は、測定対象物１０００の帯電領域１００１に非接触で電荷を与える帯電装置１１０と、測定領域１００２における電荷量を非接触で測定する電荷検出装置１２０と、からなる。帯電装置１１０が帯電領域１００１に電荷を与えながら、電荷検出装置１２０が帯電領域１００１から測定領域１００２に流入する電荷量を経時的に測定する。このようにして測定された電荷量に基づいて測定対象物１０００の表面抵抗値が算出される。 （もっと読む）

【課題】測定のための回路部品を減じるとともに入力する周波数の帯域を広くして、単電子トランジスタのインピーダンスを高感度に求めることができる単電子素子インピーダンス測定装置を提供する。
【解決手段】単電子素子インピーダンス測定装置が、単電子の帯電エネルギーが動作温度における熱エネルギーと同程度またはそれ以上となるような微小伝導領域である微小島と当該微小島にトンネル障壁を介して接合する電極である入力電極とを有する単電子トランジスタと、微小島と静電的に結合されているポイント接合と、ポイント接合に接合する一方の電極および入力電極に広帯域周波数の位相可変高周波電圧信号が入力信号として独立して入力され、当該入力信号によって誘起される微小島と入力電極との間の時間的な電荷移動に伴う単電子トランジスタのインピーダンス変分を、ポイント接合に接合する他方の電極からの信号により位相検波する電荷検出計とを有する。 （もっと読む）

【課題】 コア試料内部の薄層を比抵抗分布状況により見落としなく正確に地層分布を判読することができ、コア試料端に電流電極を設置して測定した場合でもコア試料端近傍で電流に乱れが生じることがなくて正確な比抵抗の測定ができる土質コア比抵抗測定方法及び測定装置を提供すること。
【解決手段】 所定長さで採取した測定用コア試料１の長さ方向両端に、該コア試料の比抵抗値に近い人工的に作成した疑似コア試料２，２’を密着させて配置し、この疑似コア試料の測定用コア試料から離れた側の両端に電流電極５，５’を密着させて配置するとともに、前記測定用コア試料の長さ方向に等間隔を置いて複数の電位測定用電極１３を配置し、前記電流電極から電流を流すことにより前記電位測定用電極により測定用コア試料内に発生した区間電位をその測定区間を連続的に移動して前記測定用コア試料全体の長さ方向の比抵抗分布状況を測定する比抵抗測定装置１８を配置した。 （もっと読む）

【課題】再現性を有し、測定精度を格段と向上させることのできるプリント回路基板用測定装置を提供すること。
【解決手段】筐体２内に収納されたプリント回路基板３における物性特性を測定するための測定装置であって、外部の測定器に対しケーブルを介して接続される少なくとも４つの測定端子４と、その同軸上に回転自在に設けられ、プリント回路基板３における測定ポイントへ接触するための電極ピン６と、各測定端子４を当該各測定端子４の軸を中心に回転自在に、且つ、プリント回路基板３に対し略垂直に保持すると共に、筐体２の対向する１対の側壁部２ａ，２ａ間上方に、これと直交する方向にスライド自在に架設される本体部１と、本体部１を筐体２に対しスライド自在に保持すると共に、所望の位置にて固定可能な位置決め手段５とを有し、電極ピン６は、ばね機構６ａを備えると共に、プリント回路基板３に向かう端部側に屈折したクランク部６ｂを設けるようにした。 （もっと読む）

【課題】表面超伝導を用いた超伝導体、弾性表面波に伴って発生する交流電界を用いた高精度で容易かつ安価な超伝導体表面抵抗率の非接触測定方法及びその測定装置を提供する。
【解決手段】両側に入、出力電極対１１、１２をそれぞれ備えた平板状の圧電体１３に隙間４８を設けて超伝導体１４を配置し、入力電極対１１に印加した入力電圧により発生した弾性表面波を出力電極対１２に向けて移動させながら弾性表面波に伴う交流電界を超伝導体１４に印加して、出力電極対１２で検出した出力電圧値と入力電圧中の弾性表面波の周波数に対応する入力電圧成分値との比の値から求める超伝導体表面抵抗率の非接触測定方法であって、入力電圧をパルス電圧とし、出力電圧値及び入力電圧成分値を出力電極対１２で測定された出力電圧及び入力電圧の各高速フーリエ変換から求め、弾性表面波の周波数を交流電界が超伝導体１４の表面で反射され内部に侵入しない範囲に設定する。 （もっと読む）

多点プローブ(multi-point)を用いて多重測定を行うことによって、非導電性エリアと、導電性または半導電性のテストエリアとを備えたテストサンプルの電気的特性を取得する方法。該方法は、テストエリアを垂直に通過する磁力線を有する磁界を供給するステップと、プローブをテストエリアの第１位置に運んで、プローブの導電チップをテストエリアと接触させるステップと、非導電性エリアとテストエリアの間にある境界に対する各チップの位置を決定するステップと、チップ間の距離を決定するステップと、チップの間に位置決めされ、テストサンプルでの電圧を決定するために用いられる電流ソースとなる１つのチップを選択するステップと、第１の測定を行うステップと、プローブを移動させるステップと、第２の測定を行うステップと、第１の測定および第２の測定に基づいて、テストエリアの電気的特性を計算するステップとを含む。
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【課題】 デバイスの動特性の検査を行う際に、正常範囲を適切に設定して、適切な検査を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】 本発明はデバイスの動特性を検査する方法として具現化される。その検査方法は、デバイスに入力信号を与える工程と、デバイスの出力信号の過渡的な変化を取得する工程と、デバイスの出力信号の過渡的な変化がデバイスの正常範囲に属するか否かを判断して、デバイスの動特性が正常であるか否かを判定する工程を備えている。その検査方法では、デバイスの正常範囲が、そのデバイスの代表的な出力信号の過渡的な変化と、同型のデバイスについての公差倍率に基いて設定される。 （もっと読む）

【課題】強磁場内における抵抗測定技術を改良して、プローブと抵抗測定回路とを結ぶ信号線に誘導電圧が発生して測定が乱されることの無いようにする。
【解決手段】プローブ２は測定対象ワーク１に接触し、抵抗測定回路６に信号を送ってワークの電気抵抗値を計測する。マグネット７はＸ軸方向に平行移動して測定対象ワーク１に与える磁界強度を変化させ、かつＸ軸回りに１８０度回転して前記測定対象ワーク１に与える磁界の方向を反転させる。前記マグネット７がＸ軸方向に移動してもＡ信号線４やＢ信号線５に誘導電圧が発生しないようにするため、これらの信号線をＺ軸方向に（すなわち磁界方向に）対向離間させて配列する。前記２本の信号線４，５の間に磁力線が通らないので、マグネット７が矢印ａ−ｃ方向に移動しても信号線に誘導電圧が発生しない。なお、アーム１０を樹脂で構成してあるので、渦電流が誘導されることも無い。 （もっと読む）

【課題】対象次数の高調波に対する系統インピーダンスの演算の精度を向上させる。
【解決手段】高調波電流源から系統に高調波電流Ｊを注入する前の状態で特定地点の配電線電圧に含まれる対象次数の高調波電圧Ｖoと、高調波電流Ｊを配電系統に注入したときに配電線電圧に含まれる対象次数の高調波電圧Ｖ1と、高調波電流Ｊとを、高調波電流Ｊの基本波電圧Ｖfに対する位相をｈ個の異なる値に切り換えて検出し、系統インピーダンスの抵抗分Ｒo及びリアクタンス分Ｘoが乗ったｈ個の円（円１ないし円３）を描く。ｈ個の円のすべての交点の中から、相互間の距離がより近い関係にある交点を有効データ点として抽出し、有効データ点のそれぞれの座標のＲ軸成分及びＸ軸成分の平均値を演算することにより、系統インピーダンスの抵抗分Ｒo及びリアクタンス分Ｘoを求める。 （もっと読む）

【課題】 ＥＳＤ保護回路に対し、放電電圧を印加することによって速やかにＥＳＤ保護回路の特性インピーダンスを測定する方法、及び当該方法を実現し得る装置の構成を提供すること。
【解決手段】 本発明の基本構成は、静電気放電保護回路に対して印加した放電電圧の時間の経過に伴う変化、及び当該保護回路を導通する放電電流の時間の経過に伴う変化を測定し、経過した所定の各共通時間毎に対応し合う放電電圧と放電電流とが共に順次上昇し、それぞれ個別にピーク値に至った後、共に減衰過程に至るまでの状態をコンピュータに対する入力及び当該コンピュータからの出力によって把握し、かつ前記減衰過程における放電電圧の変化量／放電電流の変化量の比率が概略一定である場合に、当該比率をインピーダンス値とすることに基づき、速やかに静電気放電保護回路における特性インピーダンスを測定する方法及び当該方法を実現する装置。 （もっと読む）