【課題】流路において露出したナノ構造体を有するセンサ素子であり、簡易に形成でき、信頼性が高く、検出が高性能で行えるセンサ素子を提供する。
【解決手段】センサ素子１は、溝部５が設けられた面を有する基板２と、溝部５内で当該溝部５の両側壁に懸架して設けられ、かつ、基板５と一体に構成されたシリコンナノワイヤ３と、を有し、シリコンナノワイヤ３は、溝部５の底面から離間している。 （もっと読む）