【課題】測定環境中に含まれる湿度に関わらず、微量の測定対象ガスを高精度で測定することが可能な、ガスセンサの予備処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明では、感応部に金属酸化物を含むガスセンサを予備処理する方法であって、予め、測定雰囲気よりも高湿度の雰囲気において、前記感応部の温度を、前記測定雰囲気で測定するときよりも高い温度に保持するステップを有することを特徴とする方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】単層カーボンナノチューブが、多数凝集した束状ではなく、一本ずつ相互に分離された状態で、若しくは概ね直径５ｎｍ以下の細い束状でネットワーク構造を形成しており、そのためナノメートルサイズによってもたらされる著しく高感度なガス検出特性を発揮できるカーボンナノチューブガスセンサーを提供する。
【解決手段】単層カーボンナノチューブを感ガス材料とするガスセンサーであって、該単層カーボンナノチューブとして、単層カーボンナノチューブを含有するヒドロキプロピルセルロース薄膜を焼成処理して得られる単層カーボンナノチューブ集合体を用いたガスセンサー。 （もっと読む）

【課題】 内側に配した部位を保護し、水分の多い環境でも使用可能にするとともに、目詰まりやガス透過率の低下を防止して検出精度の維持及び信頼性の確保を図る。
【解決手段】 所定のガス透過率を有する多孔質カバー１であって、多孔質セラミックスＣにより所定の厚さＤｃに形成した多孔質カバー本体２の少なくとも表面２ｆに、撥水性材料による所定の膜厚Ｄｓを有する撥水膜３を形成するとともに、ガス透過率を所定の範囲に選定する。撥水膜３の膜厚Ｄｓは、０．３〜１．０〔μｍ〕の範囲に選定するとともに、ガス透過率は、５０〜８０〔％〕の範囲に選定する。 （もっと読む）

【課題】選択的に感度を向上させた金属酸化物センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、選択的に感度を向上させた金属酸化物センサの製造するために、該センサ内部にＺｎＯセンサ電極を備えるＺｎＯセンサを形成する工程、および該ＺｎＯセンサ電極をプラズマ流に曝露する工程を包含する。 （もっと読む）