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Fターム[2G046FA01]の内容

流体の吸着、反応による材料の調査、分析 (10,319) | 有機物 (127) | ポリマー (82)

Fターム[2G046FA01]に分類される特許

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化学検知システムが、質問信号を無線送信しかつ応答を無線受信するように動作可能な質問ユニット(10)と、化学検体を保持するための、環境に対して密閉された容器(22)と、容器内に配置された検体と流体連通しているセンサアレイユニット(24)であって、化学的刺激が存在する状態で応答を生成するように動作可能なセンサアレイユニットと、センサアレイユニットと接続された受動応答ユニット(26)であって、質問信号から電力を供給され、また質問信号を無線受信するようにかつ質問信号に対する応答を質問ユニットに無線送信するように動作可能な応答ユニットと、を有する。
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【課題】 酸化物半導体の抵抗値変化のオーバーシュートを抑制して、良好な応答性を呈するガスセンサを提供すること。
【解決手段】 ガスセンサ1は、セラミック基板3の上面に一対の対向電極5を形成し、更にその上面に、雰囲気中のガス濃度に応じて抵抗値が変化する酸化物半導体7を積層した構造となっている。また、酸化物半導体7の表面を含むセラミック基板3の全周には、雰囲気から酸化物半導体7に至るガスの拡散を制御する拡散制御層9が設けられている。拡散制御層9が上記ガスの拡散を適切な速度に制御するため、SnO2 のように感度が優れた物質を酸化物半導体7として使用しても、抵抗値変化のオーバーシュートを良好に抑制することができる。 (もっと読む)


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