本発明は、層（１）に対して異なる入射角（５）で偏光を通過させて、層（１）を通過した際の偏光状態の変化を測定、評価する、透明又は部分的に透明な層の屈折率と場合によっては層厚を三次元により測定するための方法及び装置に関する。この方法は、層（１）を間に挟み込んだ液浸媒体（３）を通過させる形で測定を行うことを特徴とする。この方法により、三つの空間方向すべてにおいて、異方性の薄い層の屈折率を高精度に測定することが可能となる。
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