【課題】ワーク自体が持つワーク固有の変動パターンノイズ、特に放射率が低いワーク、温度上昇の小さいワークあるいは放熱性能の異常が軽微であるワークについて、加熱温度の影響を受けるワーク固有の変動パターンノイズを補正することができるようにする。
【解決手段】平衡温度計測手段と、第二の加熱により第一の加熱による平衡温度を制御するワーク温度制御手段と、ワーク温度が第二の加熱によって制御された平衡温度の時に検出された赤外線放出エネルギーによって、熱平衡時画像フレームを形成する熱平衡時画像フレーム形成手段と、ワークに、繰り返して温度変化を与える第一の加熱に温度制御する第二の加熱を加算してワークを加熱して加熱時画像フレームを形成する加熱時画像フレーム形成手段と、加熱時画像フレームを形成するのに用いられた赤外線放射率の差異から、ワーク画像フレームを形成するワーク画像フレーム形成手段と、を備える。 （もっと読む）