【課題】バルキネスの点から見て改善した新規な検出デバイスを提供する。
【解決手段】
熱撮像マイクロ電子デバイスであって、
−支持体(200)と、
−前記支持体上に形成される電子コンポーネントを相互接続するための複数の金属レベル(M₁、…、M₅、M₆)と、
−前記支持体上に形成され、各々が放射エネルギーを吸収し、且つ前記吸収した放射エネルギーに応じて1つ以上の電気信号を供給できる膜(210)を含む熱検出器アレイ、及び前記膜からの電気信号を読み出す、前記支持体に集積される読み出し手段と、
を備え、
前記検出器の少なくとも数個は、前記膜に対向して形成される少なくとも1つの積分キャパシタ(C_I)を有する積分器を備えた読み出し手段を有し、
前記キャパシタは、前記複数の相互接続金属レベル(M₁、…、M₅、M₆)の所与の相互接続金属レベルにおいて作成される少なくとも1つの上側プレート(244)有することを特徴とする、熱撮像マイクロ電子デバイス。 （もっと読む）