【課題】 材料物質を選択的に除去することによる、干渉変調器の製造方法を提供する。
【解決手段】 干渉変調器等のＭＥＭＳデバイスを形成する方法は、材料物質の犠牲部分を選択的に除去して、内部キャビティを形成することと、材料物質の残る部分をそのまま残して、支柱構造を形成することとを含む。材料物質は、残る部分に対し、選択的に除去可能である犠牲部分を定義するために堆積され、かつ選択的に変更されたブランケットでありうる。あるいは、材料物質層は、覆っている層内の開口部から離れて横方向に凹ませることができる。これらの方法は、リリースされていない及びリリースされた干渉変調器を形成するのに用いることができる。 （もっと読む）

【課題】光干渉変調器ディスプレイを照明するためのシステム及び方法。
【解決手段】本方法及び装置は、遠隔光源から光干渉変調器の構造の中へ光を向けるために開示される。反射構造、散乱中心、及び蛍光材料又は燐光材料を含む、光リダイレクタが、光源から光干渉変調器の構造の中に向け光の向きを変えるために使用される。 （もっと読む）

【課題】 材料物質を選択的に除去することによる、干渉変調器の製造方法を提供する。
【解決手段】 干渉変調器等のＭＥＭＳデバイスを形成する方法は、材料物質の犠牲部分を選択的に除去して、内部キャビティを形成することと、材料物質の残る部分をそのまま残して、支柱構造を形成することとを含む。材料物質は、残る部分に対し、選択的に除去可能である犠牲部分を定義するために堆積され、かつ選択的に変更されたブランケットでありうる。あるいは、材料物質層は、覆っている層内の開口部から離れて横方向に凹ませることができる。これらの方法は、リリースされていない及びリリースされた干渉変調器を形成するのに用いることができる。 （もっと読む）

【課題】モジュレータ内における熱反応を処理するためのデバイス及び方法
【解決手段】インターフェロメトリックモジュレータは、一方の表面が他方の表面の前部に蒸着されている２つの表面の間の間隔を変えることによって、該２つの表面から反射される光波の間において建設的な及び／又は破壊的な干渉を選択的に作り出す。該希望される間隔は、一方の表面又は両方の表面を変形させることによって達成させることができる。特定の表面に関わる加熱素子は、該表面のうちの１方の表面又は両方の表面を形成する材料を加熱することによって変形を引き起こす。該変形量は、加えられる熱量を変えることによって変えられ、その結果該表面間の距離を制御することが可能になり、それによって希望される建設的な及び／又は破壊的な干渉が作り出される。 （もっと読む）