【課題】カラーフィルタの周縁遮光膜やブラックマトリックスの剥がれや残渣を防ぎ、且つブラックマトリックスの解像力を向上させる。
【解決手段】固体撮像素子１０のチップ基板１２ａ上に、黒色熱硬化性組成物からなる黒色層４６を形成する。黒色層４６をドライエッチングして、固体撮像素子１０の画素形成領域Ａの周縁領域Ｓを覆う周縁遮光膜４５と、画素形成領域Ａ上に赤色・緑色・青色画素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ間の境界となるブラックマトリックス４１を残すように開口パターンとを一体形成する。開口パターンの開口部内に各色画素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを形成する。従来のフォトリソ法（感光性樹脂組成物）を用いて両者を形成した場合と比較して、周縁遮光膜４５やブラックマトリックス４１の密着性を向上させ、且つブラックマトリックス４１の解像力を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】色画素が牛の角状に隆起してしまうことなく、カラーフィルタの透明基板上に平坦に施設でき、カラーフィルタ全体の平坦度を向上させる。
【解決手段】このカラーフィルタは透明基板と、ブラックマトリックスと、複数の色画素とを備えている。ブラックマトリックスは本体領域と複数の縁領域を有している。このうち縁領域の厚みは本体領域の厚み未満である。色画素の縁がブラックマトリックスの縁領域に重なっている。また、カラーフィルタを製造するフォトマスク上の遮光層は縁領域に対応する位置上に複数の小さな開口を有することで、縁領域が比較的薄いブラックマトリックスを製造するものである。 （もっと読む）