【課題】
複数のレーザ光のフォーカス位置のずれをコストを上げずに高精度で検出し、複数のレーザ光のフォーカス位置を高精度であわせる。
【解決手段】
レーザ光が合焦した箇所の反射率が変化する反射率可変物体と、反射率可変物体をセットするテーブル又は光ヘッドをレーザ光のフォーカス位置が反射率可変物体と相対的にレーザ光の光軸方向に移動するよう駆動させる駆動手段と、指定したレーザ光を反射率可変物体に対し反射率が変化する強度で照射させ、他のレーザ光を反射率可変物体に対し反射率が変化しない強度で照射させるレーザ光照射手段と、光ヘッドの受光素子の受光信号から作成した調整用信号の波高値を取得する波高値取得手段と、取得された波高値に基づき指定したレーザ光と他のレーザ光とのフォーカス位置のずれを検出するずれ検出手段とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）