【課題】 ステージ上に高反射部が局在している場合でも、感光性樹脂を高い精度で露光可能な電気光学装置用基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】 電気光学装置用基板を製造するために、感光性樹脂１３２に対するハーフ露光工程では、画像表示領域１０１に隣接する帯状隣接領域１２７に樹脂を残す。そして、完全露光工程で電気光学装置用基板の最外周部を第２樹脂除去領域１２６とするための完全露光用のマスク２２０には、帯状隣接領域１２７に対応する領域にベタの遮光部２２１を形成し、その外周側に透光部２２３を形成する。従って、ステージ３００の載置面３１０に高反射部３２０が存在し、かつ、高反射部３２０と画像表示領域１０１の外周縁とは平面的に重なっている場合でも、画像表示領域１０１の外周縁では、高反射部３２０での反射光の影響を受けずに、感光性樹脂１３２に高い精度での露光を行うことができる。 （もっと読む）