【課題】Ｔａ−Ｗ系スパッタリングターゲットにおいて、面内の抵抗ばらつきが小さいと共に、下地膜との密着力に優れたＴａ−Ｗ合金膜を再現性よく得ることを可能にする。
【解決手段】Ｔａ−Ｗ系スパッタリングターゲットは、０．０５〜２質量％の範囲のＷを含有し、残部が実質的にＴａからなると共に、ターゲット全体としてのＷ含有量のばらつきが±２０％以内とされている。このようなＴａ−Ｗ系スパッタリングターゲットを用いて成膜したＴａ−Ｗ合金膜は、例えばＴＦＤ素子１の第１の電極３に適用される。ＴＦＤ素子１は第１の電極３／陽極酸化膜４／第２の電極５によるＭＩＭ構造を有し、液晶表示装置のスイッチング素子等に適用される。 （もっと読む）

【課題】半透過反射型液晶表示装置において、透過表示及び反射表示の双方について残像やしみ状のむら等の表示不良発生を抑え、さらには明るく広視野角の表示を実現可能な液晶表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の液晶表示装置は、マルチギャップ構造を備えた垂直配向モードの半透過反射型液晶表示装置であって、画素電極３１が、前記ドット領域内で複数の島状部３１ａ〜３１ｃと、隣接する前記島状部３１ａ〜３１ｃを互いに電気的に接続する連結部３１ｄ、３１ｅとを有しており、前記複数の島状部３１ａ〜３１ｃのうち、２つの島状部３１ｂ、３１ｃは前記透過表示領域Ｔに配置され、残りの島状部３１ａは前記反射表示領域Ｒに配置されており、前記液晶層厚が連続的に変化している境界段差領域Ｎと、前記画素電極３１の連結部３１ｂとが平面的に重なって配置された構成を備えている。 （もっと読む）

【課題】配線とその上に形成される電極との絶縁構造を容易に形成できる横電界モードの液晶装置を提供する。
【解決手段】液晶層を挟んで互いに対向する基板１１及び基板２２と、基板１１上に設けられた信号線１４と、信号線１４に導電接続したスイッチング素子１３及び画素電極１５と、基板１１上に設けられた配線１７と、画素電極１５、スイッチング素子１３及び配線１７を覆って基板１１上に設けられた誘電体膜１６と、誘電体膜１６上に設けられて画素電極１５に対向した共通電極１８とを有する液晶装置である。共通電極１８はスリット２７を有して平行に並んだ複数の線状電極部２８を画素電極１５に対向する領域に有し、共通電極１８は誘電体膜１６の外側で配線１７と導電接続する。 （もっと読む）

【課題】二端子型非線形素子を備える横電界方式の液晶装置において、黒表示時におけるコントラストの低下を抑制する。
【解決手段】この液晶装置は、液晶層を挟持するアレイ基板及びカラーフィルタ（ＣＦ）基板を備える。アレイ基板は、ＴＦＤ素子と、それに接続された画素電極と、画素電極との間で電界を発生させる走査電極と、第１の配向軸を有する第１の配向膜と、第１の透過軸を有する第１の偏光板とを備える。ＣＦ基板は、第１の配向軸に対して平行な第２の配向軸を有する第２の配向膜と、第１の透過軸に対して直交する第２の透過軸を有する第２の偏光板とを備える。これにより、ＴＦＤ素子を備える横電界方式の液晶装置を構成している。特に、初期配向状態における液晶配向軸は、第１及び第２の配向軸に対し所定の角度を有し且つ前記第１の透過軸に対して平行とされる。これにより、黒表示時の輝度を下げることでき、コントラストの低下を抑制できる。 （もっと読む）

【課題】スイッチング素子の構成を簡単化して製造を容易にし、それにも関らず広視野角及び高コントラストの表示を実現できる電気光学装置を提供する。
【解決手段】 液晶層を支持する基板１１上に設けられた信号線１４と、信号線１４に導電接続したスイッチング素子１３と、スイッチング素子１３に導電接続した島状の画素電極１５と、画素電極１５及びスイッチング素子１３を覆った誘電体膜１６と、誘電体膜１６上に設けられており画素電極１５に対向する帯状の共通電極１８とを有する電気光学装置である。スイッチング素子１３は、第１導電膜と絶縁膜と第２導電膜の積層構造を有するＴＦＤ素子である。共通電極１８はスリット２７を有して平行に並んだ複数の電極線状部２８を画素電極１５に対向する領域に有している。画素電極１５と共通電極１８はオン電圧印加時に基板に略平行な電界を形成し、電気光学装置はＦＦＳモードで動作する。 （もっと読む）

【課題】下電極を構成するタンタル膜の窒素濃度を増大させなくても、十分な量の窒素を含むタンタル酸化膜を薄く形成することのできる非線形素子の製造方法、および電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】非線形素子１０ｘを製造するにあたって、窒素含有タンタル膜によって下電極１３ｘを形成した後、下電極１３ｘの表面を陽極酸化して絶縁層１４ｘを形成する。次に、絶縁層１４ｘに水素を導入した後、上電極１５ｘを形成する。下電極１３ｘの表面を陽極酸化して絶縁層１４ｘを形成する際、電解液に超音波振動を印加しながら陽極酸化を行う。また、電解液の液温を３０℃以上に設定して陽極酸化を行う。 （もっと読む）

【課題】水素および窒素を含有するタンタル酸化膜を絶縁層として用いるにあたって、タンタル酸化膜の厚さ方向の全体にわたって窒素を好適に分布させることができる非線素子の製造方法、およびこの方法を利用した電気光学装置の製造方法を提供すること。
【解決手段】非線形素子１０ｘを製造するにあたって、タングステンおよび窒素を含有するタンタル膜によって下電極１３ｘを形成した後、下電極１３ｘの表面を陽極酸化して絶縁層１４ｘを形成する。次に、絶縁層１４ｘに水素を導入した後、上電極１５ｘを形成する。絶縁層１４ｘを形成した後、水素を導入する前あるいは後に、プラズマ発生室に窒素を含有するガスを導入してプラズマを発生させ、かかるプラズマを絶縁層１４ｘに照射して絶縁層１４ｘに窒素を導入する。 （もっと読む）

【課題】初期配向状態が垂直配向を呈する誘電異方性が負の液晶を有する液晶表示装置において、配向分割に用いる突起部や、スリットに起因するコントラスト低下を防ぐことが可能となる液晶表示装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】互いに対向して配置された一対の基板１０、２５間に、初期配向状態が垂直配向を呈する誘電異方性が負の液晶からなる液晶層５０を備えた液晶表示装置１００であって、一対の基板基板１０、２５に設けられた電極９、３１のうちの少なくとも一方の電極には、液晶の配向を規制するための配向規制手段２８、２９が設けられ、一対の基板１０、２５における一方の基板には、配向規制手段２８、２９に対応する位置に遮光膜ＢＭが形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】オフシーケンス処理等を長大化させることなく、フリッカのない安定した表示を実現することができる液晶装置を提供する。
【解決手段】高い絶縁性を有するトップコート膜２０７、及び、配向膜２０８，３０８を、表示領域Ａ１内に限定的に形成することにより、液晶１６０を介して対向する画素電極２３４と走査線（対向電極）３１２との間の誘電率は、周辺領域Ａ２側の誘電率ε２が、表示領域Ａ１側の誘電率ε１よりも相対的に低く設定されている。各データ線２１２をデータ線駆動回路部２５０ａにそれぞれ電気的に接続し、各データ線２１２に対して格子状に対向する各走査線３１２を走査線駆動回路部２５０ｂにそれぞれ電気的に接続する。 （もっと読む）

【課題】透過開口率等の向上を図ることが可能な半透過反射型の液晶装置を提供する。
【解決手段】液晶装置は、単位サブ画素を構成する行列状に配列された画素電極と、その各々に対応して設けられた複数のＴＦＤ素子と、画素電極の各々に対応して設けられ、ＴＦＤ素子の各々に電気的に接続された複数の導電膜と、を有する素子基板を備え、導電膜の各々は、遮光性を有する材料により形成され、画素電極の各々と電気的に接続されるコンタクト部を有すると共に、相隣接する画素電極の間の平面領域に設けられている。つまり、導電膜は、画素電極と電気的に接続するためのコンタクト機能と、相隣接する画素電極の間を遮光する機能とを兼ね備え、その導電膜が、本来的に遮光領域となる、相隣接する画素電極の間の平面領域に設けられている。これにより、透過領域を大きくする必要がある場合に、単位サブ画素領域における透過領域の大きさを大きくでき、透過開口率を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】低温時のコントラスト低下を抑制する。
【解決手段】 複数の走査線と複数のデータ線との各交差に対応して画素が設けられるとともに、当該画素と前記データ線との接続を行うスイッチング素子を有する表示部と、前記画素に書込みを行う選択期間を設定するための走査信号を前記走査線に供給する走査線駆動回路と、前記走査線に走査信号が供給された際に、階調に応じてパルス幅が変化するデータ信号を前記データ線に供給するデータ線駆動回路と、前記表示部の周辺温度を検出する温度センサと、前記温度センサによる周辺温度の検出結果に基づいて、所定の温度範囲において前記選択期間を制御すると共に前記データ信号のパルス幅を制御する制御手段と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非線形性の向上、および残像現象の原因となる素子ドリフト現象の防止の双方を実現可能な非線形素子、この非線形素子を画素スイッチング素子として用いた電気光学装置、および非線形素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】非線形素子１０ｘは、下電極１３ｘ、この下電極１３ｘの表面側を覆う絶縁層１４ｘ、およびこの絶縁層１４ｘを介して下電極１３ｘに対向する上電極１５ｘを備えたＴＦＤ素子である。絶縁層１４ｘに用いたタンタル酸化膜は、窒素を含有しているため、非線形性が高い。また、絶縁層１４ｘに用いたタンタル酸化膜が窒素を含有していると、素子ドリフトが多くなり、残像現象が発生しやすくなるが、絶縁層１４ｘに用いたタンタル酸化膜は、窒素に加えて、水素も含有しているため、素子ドリフト現象が小さいので、残像現像が発生しにくい。 （もっと読む）

【課題】マルチギャップ段差に起因した表示不良の発生が少ない液晶表示装置、液晶表示
装置の製造方法、及び電子機器を提供する。
【解決手段】反射領域及び透過領域を有する複数の画素を含む表示領域を備えた半透過反
射型の液晶表示装置において、反射領域及び透過領域は、表示領域内において一方向に配
列された画素からなる画素列にまたがってストライプ状に配置され、第１の基板は、反射
領域に配置された層厚部と、透過領域に配置された層薄部と、を有し、表示領域内におい
ては、層厚部及び層薄部の境界の傾斜面を垂直方向に形成した段差部分を有するとともに
、表示領域外においては、所定の緩和部を有する層厚調整層を備え、第１の電極は、層厚
調整層の上層に、画素列にまたがって形成してあるとともに、それぞれ表示領域外まで延
設してあり、少なくとも同じ画素列における反射領域及び透過領域に形成された第１の電
極が緩和部上でつながっている。 （もっと読む）

【課題】画素電極と非線形抵抗素子の第２素子電極とを絶縁膜によって異なる層に分けた
構造の電気光学装置において、画素電極と第２素子電極との間で良好なコンタクトを得る
。
【解決手段】基板７ａ上に設けられたＴＦＤ素子３１を有する電気光学装置である。ＴＦ
Ｄ素子３１は、第１素子電極３２と、第１素子電極３２に重ねられた絶縁膜３３と、絶縁
膜３３に重ねられた第２素子電極３４ａ，３４ｂとを有する。電気光学装置はさらにＴＦ
Ｄ素子３１を覆う層間絶縁膜２２と、その層間絶縁膜２２上に設けられた画素電極２４と
を有する。画素電極２４は、第２素子電極３４ａ，３４ｂと導電接続される。第２素子電
極３４ａ，３４ｂはＭｏ又はＭｏ合金によって形成される。 （もっと読む）

【課題】ダミー走査電極を駆動するためのコストアップを招くことなく走査電極の１本目の表示画素群に生じる不均一な表示を確実に解消できる表示装置を提供する。
【解決手段】対向側基板１０は、Ｎ本の走査電極１１のうち１本目の走査電極１１の外側に隣接し且つ１本目の走査電極１１に並行して延びるように設けられた第１ダミー走査電極５ａを有する。第１ダミー走査電極１１ａには、素子側基板１に設けられた、走査電極１１の延びる方向と直交する方向に延びる電極１８ａから、素子側基板１と対向側基板１０との間に設けられた導電材１９ａを介して電圧が印加される。 （もっと読む）

【課題】カラーフィルタ基板や電気光学装置において、異なる着色層が相互に隣接する境界部における光学的及び電気的な不具合を改善し、不良の発生を防止することのできる技術手段を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板２１０は、第１領域Ｌｓに配置された第１着色層２１４Ｃと、第２領域Ｈｓに配置された第２着色層２１４Ｆとを有し、第１着色層と第２着色層とは互いに隣接して配置され、第１領域の表面よりも第２領域の表面が高く構成されているとともに、第１領域と第２領域との間に段差面が設けられ、第１着色層と第２着色層の境界部が、前記段差面の最下部よりも第２領域側に配置されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】透過表示及び反射表示の双方において広視野角の表示が可能な液晶表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の液晶表示装置は、一対の基板１０Ａ，２５Ａ間に垂直配向性の液晶層５０を挟持してなり、１つのドット領域内に透過表示領域Ｔと反射表示領域Ｒとが設けられた液晶表示装置であって、一対の基板のうちの少なくとも一方の基板と液晶層５０との間には、反射表示領域Ｒの液晶層厚を透過表示領域Ｔの液晶層厚よりも小さくするための液晶層厚調整層２６が設けられ、さらに一対の基板のうちの少なくとも一方の基板には、ドット領域内の透過表示領域Ｔ、及びドット領域外であって液晶層厚調整層２６が形成された領域のそれぞれにおいて、該基板内面から液晶層５０内部に突出する凸状部２８，５８が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 製造プロセスが比較的簡単で製造コストが安価な横電界方式の液晶表示装置等の電気光学装置を提供する。
【解決手段】 本発明の電気光学装置は、一対の基板のうちの一方の基板に、非線形素子（ＴＦＤ素子４３）と、共通電極４２（第１電極）と、非線形素子と電気的に接続された画素電極４８（第２電極）とが備えられ、第１電極と前記第２電極との間に生じる電界によって電気光学物質層が駆動され、非線形素子が、下部電極４４と、下部電極４４の上面を覆う上面絶縁膜４５と、下部電極４４の延在方向に対して両側にあたる２つの側面のうちの片側の側面を覆い、かつ上面絶縁膜４５の膜厚よりも小さい膜厚を有する側面絶縁膜４６と、少なくとも側面絶縁膜４６を介して下部電極と対向する上部電極１９とを有している。 （もっと読む）

【課題】垂直配向液晶の配向制御に伴うコントラスト低下を防止し、もって広視野角かつ高コントラストの高画質表示を実現した液晶表示装置を提供する。
【解決手段】本発明の液晶表示装置１００は、一対の基板１０，２５間に液晶層５０を挟持してなり、前記液晶層５０は、初期配向が垂直配向を呈する負の誘電異方性を有する液晶を含んでおり、前記一対の基板１０，２５の液晶層側に、液晶を駆動するための電極９，３１がそれぞれ形成され、基板１０側の電極９上には、前記液晶の配向を規制する誘電体突起（配向制御手段）７３〜７５が設けられており、基板２５に、電極３１と配線部１３ａとを接続するコンタクトホール７２及び前記誘電体突起７５と平面的に重畳配置された遮光部（遮光手段）３３ｃを備えている。 （もっと読む）

【課題】 電気光学装置の構成要素である絶縁膜に工夫を加えることによってクロストークの発生を抑制して表示品質を高く維持できる電気光学装置を提供する。
【解決手段】 基板７ａ上に形成された複数のスイッチング素子２１と、基板７ａ上に形成されたデータ線１９と、スイッチング素子２１上及びデータ線１９上に形成されていて内部にスルーホール２７を有する絶縁膜２２と、絶縁膜２２上に形成されていてスルーホール２７を介してスイッチング素子２１に接続された画素電極２４と、画素電極２４上に形成された液晶層１２と、データ線１９に接続された画素電極２４に隣接する他の画素電極２４と当該データ線１９との間に位置する絶縁膜２２内に設けられた凹部４１とを有する電気光学装置である。凹部４１内には液晶１２が収容され、絶縁膜２２の誘電率をε１とし、液晶１２の誘電率をε２とするとき、ε１＞ε２に設定する。 （もっと読む）