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Fターム[2H096HA12]の内容

感光性樹脂・フォトレジストの処理 (33,738) | 現像後の処理 (2,818) | エッチング (526) | 被エッチング物 (30)

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Fターム[2H096HA12]に分類される特許

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【課題】 ドライエッチングが良好に行なえると共に、分光特性及び表面性状が良好でパターンの矩形性に優れると共に、剥れを抑えた密着性の高いカラーフィルタの作製を可能とする。
【解決手段】 着色剤と光硬化性化合物とを含むと共に、全固形分中の着色剤の濃度が50質量%以上100質量%未満である着色剤含有光硬化性組成物を用いて塗設された着色層を、露光により前記着色層上への感光性樹脂層形成前に光硬化させる工程を有している。 (もっと読む)


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