【課題】突き上げピンによるマスクの損傷を防止し、かつ露光時の露光むらを抑制する。
【解決手段】チャック１０に、チャック１０の内部から上昇する複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃを設ける。各突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの先端をマスクより柔らかい材質のものに変更し、マスクをマスク搬送装置によりチャック１０へ搬入し、マスクを複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスク搬送装置から受け取る。ステージによりチャック１０を移動して、マスクの位置決めを行い、マスクを複数の突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃによりマスクホルダ２０に装着した後、各突き上げピン１２ａ，１２ｂ，１２ｃの先端をチャック１０の表面と同じ材質のもの（パッド３０）に変更する。 （もっと読む）

【課題】マスク描画装置内でレチクル中心に対するパターン中心のズレを測定し、レチクル原版位置を修正することができ、レチクルの精度と収率の向上を図ることができる基板位置決め装置及び基板位置決め方法を提供する。
【解決手段】それぞれアクチュエータを内蔵し基板を押し当てることによって基板の位置決めを行う複数の位置決め手段（位置決めピン）と、アクチュエータを制御して、基板の位置決めする制御ユニットと、を備えることを特徴とする基板位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】装置を大型化することなく、マスクのプリアライメントが可能な露光装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗに対してマスクＭを介して露光用光ＥＬを照射し、基板ＷにマスクＭのパターンＰを露光する近接スキャン露光装置１は、マスクＭを保持するマスク保持部７１と、マスクＭを交換すべく、マスクＭを搬入又は搬出するための受け渡し位置ＷＰと、マスク保持部７１の下面と対向する交換位置ＣＰとの間を移動可能なマスクトレー部１２１を有するマスクチェンジャー１２０と、受け渡し位置ＷＰの上方に設けられ、マスクトレー部１２１に載置されたマスクＭのプリアライメントを行うマスクプリアライメント駆動部１４２と、を備える。 （もっと読む）