１つの導波路（１１６）形成方法は、メチルメタクリレート、テトラフルオロプロピルメタクリレート及びエポキシモノマーを含む光画成可能なコポリマー材料（１４）を堆積させ、コポリマー材料に対して光学素子（１０、１２）を固定し、少なくとも一方の光学素子及びコポリマー材料を通して他方の光学素子に向けて光を送り、未硬化モノマーを揮発させることを含んでなる。別の導波路（１１６）形成方法は、光学表面（１１、１３）をそれぞれに有する光学素子（１１０、１１２）を相互に固定し、十分な表面張力を有するコポリマーブロブ（１１４）を光学表面上に配置して湾曲面を有するコポリマーブロブを生み出し、各々の光学素子を通して湾曲面及び他方の光学素子に向けて光を送り、未硬化モノマーを揮発させることを含んでなる。光路形成方法は、光学表面（７１、７７）をそれぞれに有する光学素子（７０、７６）を相互に固定し、一方の光学素子から他方の光学素子に光を最適に導くように位置合せされるまで鏡（７８）を並進及び回転させ、位置合せされた鏡をその位置に確保することを含んでなる。 （もっと読む）

光導波路モジュールの製造方法、及び光導波路モジュールにおいて、簡単な構成により導波路の光軸と光ファイバの光軸の容易かつ精度良い接合を実現する。コア用凸部（２１）と案内溝用凸部（２２）を備えた型（２）を、クラッド用樹脂液（４ａ）が塗布されたシリコン基板（３）に重ねて、凹凸形状を転写して、コア溝と光ファイバ案内溝を備えたクラッド基板を形成し、そのコア溝にコア材を充填・硬化して光導波路を形成したクラッド基板を分断して導波路ブロックと光ファイバ固定ブロックを形成する。光ファイバ固定ブロックに光ファイバを固定した後、両ブロックを再接合する。コア用溝と光ファイバ案内溝が一体的に形成され、各ブロックに共通の底面を持たすことができ、各々の底面を基準にできて光軸高さ位置調整が容易となる。また、各ブロックに共通の分断面を後工程における基準面として用いて平面的な位置合わせが容易となる。 （もっと読む）

ピグテイル付プレーナ型光デバイスを作成するための器具及び方法が開示される。器具及び方法は、段領域（１４）を有する基板（１２）を含むツール（１０）を提供する工程を含む。ツール（１０）は、さまざまな高さを含むデバイス基板（３２）上にグリッパー（４８）または導波路（５２）などの素子を形成できる。
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