【課題】コストの上昇や特性の低下を招くことなく、実装が容易な状態で、ＬＳＩのチップ間やチップ内の信号伝送を、光配線で行えるようにする。
【解決手段】素子形成領域１２２のシリコン上にエピタキシャル成長により形成した半導体層を光吸収層として備えて素子形成領域１２２に形成された光素子１２３と、光導波領域１２１に形成された溝部１０１ａと、溝部１０１ａに充填されて形成された下部クラッド層１０２と、下部クラッド層１０２の上に形成されて光素子１２３に光接続するコア１０３と、コア１０３の上に形成された上部クラッド層１０４と、コア１０３よりなる光導波路の光導波方向に垂直な方向の素子形成領域１２２の側部の基板１０１上に形成されて、光素子１２３に電極引き出し部１０５を介して接続する電極パッド部１０６とを備える。 （もっと読む）

【課題】水中に微量存在する特定の化学物質を高感度に検出、識別するスラブ光導波路分光測定装置を提供する
【解決手段】分子認識能を有する化学物質からなる単分子膜と、この膜が坦持または固定されたセンサスラブ光導波路を使用して信号を検出し、溶質中の有機分子を検出するスラブ光導波路分光ケミカルセンサ。 （もっと読む）

【課題】 許容する入射角範囲の拡大が可能で、かつ高い感度を維持しつつ、光導波路層における光強度の減衰を抑制した光導波路型バイオケミカルセンサチップを提供する。
【解決手段】 ガラスまたは石英からなる基板と、前記基板の主面に形成され、その基板内に光を入射、出射するための一対のグレーティングと、前記グレーティングを含む基板の主面に形成され、厚さが３〜３００μｍで基板より高屈折率の高分子樹脂からなる光導波路層と、前記光導波路層上に形成された生体分子認識機能および情報変換機能を有するセンシング膜とを備えたことを特徴とする光導波路型バイオケミカルセンサチップである。 （もっと読む）