【課題】 均質化効果以上に、入射光の分布に追加効果も与えるフライアイコンデンサを、特にマイクロリソグラフィ投影露光装置の照明系や、そのようなフライアイコンデンサを有する照明系にも使用できるようにする。
【解決手段】 入力光分布を出力光分布に変換するためのフライアイコンデンサ（１１５；２１５；３１５；４１５）において、複数の光チャネルを生じるために光学群（２１、２２；１２１、１２２；２２１、２２２；４０；１４０）の少なくとも１つのラスター配列を有するフライアイコンデンサ（１１５；２１５；３１５；４１５）であって、光学群（２１、２２；１２１、１２２；２２１、２２２；４０；１４０）の少なくとも一部は、光チャネルを通過する光の偏光状態を変化させるための偏光変化手段（３０；１２１、１２２；２３０；４０；１４０）を有する、フライアイコンデンサ。 （もっと読む）

本発明は、２つの光ビーム（１２．１，１２．２）を組み合わせるための照明システムに関する。２面角を形成する２つの入力面（２０．１，２０．２）によって区切られたプリズム（２０）と、該プリズムの出力面（２０．３）に結合されたインテグレータ（３０）とが設けられている。
各光ビームは、入力面のうち１つを介してプリズムを透過し、別の入力面で内部反射によって出力面（２０．３）の方向に内部反射される。光ビームは、インテグレータの入力面に実質的にフォーカシングされ、後者は、ほぼ均一の出力ビーム（４）を供給する。
アプリケーション：プロジェクション装置およびバックプロジェクション装置。
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画像を複数の画像成分に分割し、そして各画像成分を光学パネルの対応する各部分を通して投射して、集合的に上記画像を形成することにより、光学パネルからビデオ画像を表示する。ディスプレイ全体の奥行きは、それ相応に低減される。

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ライトパイプに基づく投影エンジンは、有用偏光光を出力方向に実質的に透過させ、非有用偏光光を出力方向に実質的に直交する第１直交方向に実質的に反射するＸプリズムを含む。初期反射体は、非有用偏光を有するロー、ミディアムおよびハイ・バンドの光を出力方向及び第１直交方向に実質的に直交する第２直交方向に反射することができ、最終反射体は前記ロー、前記ミディアムおよび前記ハイ・バンドの光を出力方向に反射することができる。前記ロー、前記ミディアムおよび前記ハイ・バンドの光は、初期および最終反射体によって有用偏光光へと実質的に回転される。
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