【課題】 被洗浄基板に接触するスポンジ等の洗浄部材の装着が容易で、被洗浄基板の縁部まで洗浄範囲とすることができ、洗浄部材の押付力の変化によって被洗浄基板との接触面積が変化しにくく、被洗浄基板の膜面にダメージを与えることがない洗浄具及び該洗浄具を用いた基板洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 基板洗浄装置に用いる洗浄具であって、洗浄具は被洗浄基板の洗浄面に接触させる洗浄部材１と該洗浄部材１を保持する洗浄部材保持機構２とを具備し、洗浄部材保持機構２は下方部が複数のチャック爪４ａに分割された挟持部材（スリーブ）４と、該挟持部材の外周に嵌入されるリング部材５を具備し、該挟持部材の複数のチャック爪４ａで形成された挿入穴に該洗浄部材１の端部を挿入し、該リング部材５を該挟持部材の外周に嵌入することにより、該複数のチャック爪４ａで該洗浄部材１を締め付け固定する構造、即ちコレットチャック構造とした。 （もっと読む）