【課題】本発明は、導電性のある良質のウェハに機械的ダメージを与えることなく、ウェハを外形加工する方法を提供する。
【解決手段】放電加工機を用いて、加工液中で電流を流し、所望の形状にウェハの外周を除去することによって、ウェハの外形を加工する。放電加工機としては、ワイヤー放電加工機を用いてワイヤーを繰り出しながら加工する方法、及び、形彫り放電加工機を用いる方法がある。 （もっと読む）