【課題】電解液の使用を最適化し、作業ゾーン内へのその分散の最小にしながら、産業的な要求に適合する速度で大きな寸法のガラス板を処理できる機械加工ヘッドを提供すること。
【解決手段】本発明は、内部に電極（４）が延びており、この電極（４）の周囲に放射状に延びている対向電極（１４）を収容する本体（２）を備え、本体（２）が電極（４）と対向電極（１４）によって区画された空間内に電解質液体を供給する手段（６）を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッドに関する。 （もっと読む）

ワークピース（４０）を研磨する研磨装置（１）は、以下の構成部材、即ち、環状の研磨面（１１）を有するカップ状ホイール（１０）と、研磨面（１１）の少なくとも一部分の近傍に配置したディスク状の電極（６０）であって、この電極（６０）と研磨面（１１）との間に比較的僅かな間隙が存在してドレッシング領域（７５）が得られるようにした電極（６０）と、電解液をドレッシング領域（７５）に供給する電解液供給手段（７０）と、研磨面（１１）と電極（６０）との間に電解液を介して電流を発生させる電流発生器（２０）とを有する。電極（６０）はドレッシング領域（７５）に対して移動自在にし、通常調整プロセスの結果発生する電極（６０）の汚れを連続的に除去するようにする。この結果、ドレッシングプロセスの品質が高いレベルに維持される。
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