化学エッチング支援放電加工ヘッド
【課題】電解液の使用を最適化し、作業ゾーン内へのその分散の最小にしながら、産業的な要求に適合する速度で大きな寸法のガラス板を処理できる機械加工ヘッドを提供すること。
【解決手段】本発明は、内部に電極（４）が延びており、この電極（４）の周囲に放射状に延びている対向電極（１４）を収容する本体（２）を備え、本体（２）が電極（４）と対向電極（１４）によって区画された空間内に電解質液体を供給する手段（６）を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッドに関する。
【解決手段】本発明は、内部に電極（４）が延びており、この電極（４）の周囲に放射状に延びている対向電極（１４）を収容する本体（２）を備え、本体（２）が電極（４）と対向電極（１４）によって区画された空間内に電解質液体を供給する手段（６）を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッドに関する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化学エッチング支援放電加工ヘッドに関する。本発明は、特に、ガラス板などの非導電性材料内に孔を機械加工するためのこのタイプのヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板内に小さい寸法の孔をあけるための電解液内の電気化学反応で生じる放電の使用が最初に開示されたのは、１９６８年であった。このような既知の方法は、この日から改良されてきている。その現在の形態においては、この方法では、たとえば、３０％の濃度の苛性ソーダＮａＯＨで形成された電解槽内に、機械加工されるガラス板を浸漬させる。通常２５Ｖから４０Ｖの間で構成される一定の電圧が、エッチング機器の間に印加され、これが、カソード電極と、電解液に接触しているが作業ゾーンからある距離にあるアノードの対極とを形成する。エッチング機器上に形成される水素の泡がくっつきあって集まって電極を覆う気体の膜を形成する。膜の内部に出現する放電が、ガラスを局所的に腐食させる。
【０００３】
上記で説明された方法は、電解液内への機械加工されなければならない部品の表面全体の浸漬を必要とするという欠点を有する。苛性ソーダなどの液体は極めて腐食性があり、飛び散って目の中に入った場合、特に危険である。広い表面を有する大きな寸法の部品が処理されなければならない工業生産中、この方法は、大きな容積の槽を使用する必要があり、その上大量の電解液を使用する必要があり、この方法の実施を非常に危険なものとする。
【０００４】
電気化学放電を用いてガラス板内に孔をあける方法と装置が、Ｎｉｐｐｏｎ Ｓｈｅｅｔ Ｇｌａｓｓ Ｃｏｒｐ．Ｌｔｄ（日本板硝子株式会社）の名での特開平９−２３４６２９号で公知である。その装置は、機械加工されるガラス板と同一平面上に配置されたリング状の対向電極によって包囲された直線状の棒の形態の作業電極を備えている。管状のパイプから、対向電極によって形成される環状の空間内に電解液を滴下する。余分な電解液は対向電極の上縁から流れ出て、機械加工されるガラス板が配置されたタンクの上面に向かって排出される。
【０００５】
上記で説明された装置は、有利には、機械加工されるガラス板の全体が電解槽内に浸漬される必要がなく、したがって使用される電解液の量を減少させることができることを意味する。このようにして電解液の飛散のリスクが制限される。しかし、これは、実験装置に過ぎず、工業用の大きさに変換するのは困難である。実際、電極と対向電極によって形成されたアセンブリを、ガラス板上の他の場所に孔を機械加工するためにいかにして移動させることができるのかを想像することは困難である。逆に、電極／対向電極アセンブリを静止させながらガラス板を移動させることを想定することができる。この解決法も、ガラス板の対向電極に対する相対運動中に電解液を無駄にすることを含むため、あまり便利とはいえない。
【特許文献１】特開平９−２３４６２９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電解液の使用を最適化し、作業ゾーン内へのその分散を最小にしながら、大きな寸法のガラス板を産業的な要求に適合する速度で処理できる機械加工ヘッドを提供することによって、他の欠点に加えて上述の欠点を克服することが、本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
したがって、本発明は、内部に電極が延びており、この電極の周囲に放射状に延びている対向電極を収容する本体を備え、この本体が、電極、対向電極によって区画された空間内に電解質液体を供給する手段を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッドに関する。
【０００８】
これらの特徴によって、本発明は、３次元で移動させることができる本体によって本質的に形成された、化学エッチング支援放電加工ヘッドを提供する。このようにして、大きなガラス板を、それらを不動に保持し、正確に機械加工ヘッドのみを移動させながら機械加工することを想像することができ、このことは、本発明による機械加工ヘッドに使用の大きな柔軟性を与える。また、電解質液体が、電極の周囲に放射状に延びる対向電極によって区画された空間内に閉じ込められ、それによって使用される電解液の量が少なく、電解液の飛散のリスクが低減される。
【０００９】
本発明の相補的な特徴によると、この機械加工ヘッドはまた、使用後の電解質液体を排出する手段を備える。
【００１０】
この特徴は、電解質液体が使用後直ちに排出されるという点で、本発明による機械加工ヘッドのさらに安全な使用を保証する。電解質液体との接触のいかなるリスクもしたがって回避される。さらに、電解液の強制された流れが、作業ゾーン内の電解液の恒久的な更新に至り、それによって放電加工法の物理化学パラメータの優れた安定性を確実にする。
【００１１】
本発明の別の特徴によると、電解液の排出流速は、電解液の供給流速よりも大きい。
【００１２】
したがって、使用済みの電解液だけでなく機械加工法によって生成された気体も排出することが可能である。また、機械加工されるガラス板が水中に浸漬される場合、作業ゾーンの近傍に存在する水が、使用済みの電解液と同時に排出され、それによって槽の水は常に清浄なままである。
【００１３】
本発明の好ましい実施形態によると、対向電極は、電極の周囲に配置された回転体部分と、排出の際の電解液の閉じ込めを担い、電気的な機能は有さない最も外側の部分の形状を有する。本発明の機械加工ヘッドでは、電解液は、機械加工されるガラス板に対向する電極の端部によって区画された作業ゾーンのすぐ近傍に存在するのみである。したがって、対向電極は、作業電極の近傍になければならず、そうでない場合その電気化学的機能を行うことはできない。このため、その回転体の形状により、対向電極は電極に極めて近接し、したがって、作業ゾーンの周囲の電解質液体の流れを閉じ込めおよび監視する機能を行う。
【００１４】
本発明のその他の特徴および利点は、本発明による機械加工ヘッドの実施形態の以下の詳細な説明で、より明確になるであろう。この例は、添付の図面とともに限定されない例として与えられているに過ぎない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明は、大きなガラス板を容易にかつ正確に、産業的な規模の生産性で機械加工できるように３次元で移動することができる化学エッチング支援放電加工ヘッドを提供する、一般的な創意に由来している。さらに、本発明の好ましい変形形態では、機械加工ヘッドによれば、使用される電解液の量を減少させることができ、電解液の飛散のいかなるリスクも回避する、電解液を供給し、排出する手段を備える。
【００１６】
本発明を、ガラス板内への孔または空洞の機械加工に関連して説明する。本発明がこの材料に限定されないこと、およびプラスチック材料、セラミックなどの非導電性材料または半導体材料内への穿孔に適用できることは、言うまでもない。
【００１７】
本明細書に添付の図１、２は、全体を通じて符号１によって全体として示されている本発明による機械加工ヘッドを示している。この機械加工ヘッド１は、作業電極４が通って延びている本体２を備える。本体２は、苛性ソーダＮａＯＨなどの電解質流体を供給する手段６と排出する手段８を備える。機械加工ヘッド１の本体２は、固定ブラケット１０を介して三軸機械（図示せず）の枠と接続されている。この目的のために、固定ブラケット１０は、ねじを介した組立てのための通し孔１２を備える。
【００１８】
本発明の簡略化された変形形態によると、本体２は、本発明による機械加工ヘッド１のアノードの対極を形成する。
【００１９】
本発明の好ましい実施形態によると、対向電極は、中空の円筒の形態である回転体形状１４の一部である。これは、作業電極４の周囲に放射状に配置されている本体２とは別体とされ、それに係合されている。対向電極１４の上端は、電圧源と電気的に接続されるために部分的に切り取られている。
【００２０】
以下でわかるように、作業電極４は、対向電極１４と同じ電圧源に電気的に接続されるが、それ自体を中心に回転することができなければならない。簡単な解決法は、２つの直線状スロット１８を有し、対向電極１４上に装着された、たとえばねじ２０を介してねじ付けされた接点ストリップ１６を設けることである。絶縁板２２が、２つの部品間のいかなる短絡も防止するために接点ストリップ１６と対向電極１４の間に配置されている。接点ストリップ１６に形成された２つの直線状スロット１８は、接点ストリップ１６を３つの分岐に分離する。その中央分岐２４は２つの端部分岐２６よりも幅広である。直線状の棒の形態をとる作業電極４は、接点ストリップ１６の端部分岐２６の上側と中央分岐２４の下側を通り、軽く挟まれ、電極４と接点ストリップ１６の間の摩擦によってそれらの電気的接触が形成される。対向電極１４上に接点ストリップ１６を固定するねじ２０は、作業電極４を電源３０と接続するための電気接続ワイヤ２８を固定するためにも使用される（図８参照）。
【００２１】
同様に、対向電極１４に直接ねじ付けされたねじ３２が、電線３４を介して対向電極を電源３０と接続するために使用される。
【００２２】
最後に、作業電極４は、結合部材３８を介してモータ３６（図８参照）によって回転駆動させられる。
【００２３】
作業電極４は、たとえば、ステンレス鋼またはタングステンでもよい円形の直線状の棒である。この後者の材料は、優れた電気導体であり、高い溶融温度を有し、良好な耐化学性を有するという利点を有する。作業電極４の直径は、０．１ｍｍから１ｍｍの間で構成されるのが好ましい。対向電極１４は、たとえば、腐食に抵抗するためにニッケル・メッキ鋼である。
【００２４】
図３から７を参照して、本発明による機械加工ヘッド１の構造の詳細を議論する。
【００２５】
機械加工ヘッド１の本体２は、固定ブラケット１０に装着するための平坦な部分４０を有するほぼ円形の中空の部品である。この目的のために、平坦な部分４０は、ブラケット１０内にねじ付けするための２つの孔４２を有する。本体２は、内部空間へ開いており、電解質流体のための供給パイプ５２と排出パイプ５４がそれぞれ固定される２つの挿入部４８、５０を装着するために使用される２つの孔４４、４６があけられている。これらのパイプ５２、５４は、図８を参照して以下で詳細に説明するように、ポンプ５６に接続される。
【００２６】
本体２は、これもほぼ円形の中空の部品である対向電極１４と軸方向に係合されている。本体２は、対向電極１４の上端部を向くように設けられた環状のショルダ５８と当接している対向電極１４に対して軸方向に不動である（図６参照）。対向電極１４の内部空間内へ開いている、１つ、および好ましくはいくつかの規則的に離隔された通し孔６２を形成させた円形の溝６０を対向電極の所定の高さの位置に備えている。これらの通し孔６２は、本体２が対向電極１４に軸方向に不動であるとき、本体２に形成され、電解質液体が来る孔４４が、通し孔６２と同じ高さになるような高さに設けられている。したがって電解質液は、円形の溝６０に沿って流れ、複数の通し孔６２を介して対向電極の内部空間へ入り込む。したがって複数の通し孔６２によって、電解液をより良好に流し込むことができる。さらに、電解液供給孔４４が、対向電極１４内に機械加工される単一の孔６２と確実に向き合わせるために、本体２の内部の対向電極１４の位置を指示することは必要ない。
【００２７】
対向電極１４は、本体２よりも背が高い。本体２から突き出している対向電極１４の部分６４は、本体２を対向電極１４に押し付け、それを不動にするロッキング・ナット６８内にねじ止めするための外側ねじ溝６６を有してもよい。
【００２８】
対向電極１４は、電解質液体の排出のために、本体２の厚さを貫通する孔４６と連絡している環状の室７２を、本体２の内壁とともに形成する減少した直径７０を下側の部分に有する。
【００２９】
対向電極１４は、外向きに傾斜された円形の縁部７４と内向きに傾斜された円形の縁部７６を底部に有する。その簡略化された実施形態では、対向電極１４の円形の縁部は平坦であってよい。それにもかかわらず、吸引による電解質液体の排出をより困難にする。これが、外側の傾斜された縁部７４が設けられる理由であり、電解液の通過のためにより大きな空間を残すことができる。同様に、内側の縁部７６もまた、尖端現象を防止するために、電極４と対向電極１４の間に形成される電界線が分配される表面を、できる限り大きくするために傾斜されている。放電電気化学反応が生じることがある対向電極上での電界線の過度の集中を防止することが望ましい。
【００３０】
最後に、対向電極１４は、２つの密封ガスケット８２、８４が収容される２つの円形の溝７８、８０を有する。これら２つの密封ガスケット８２、８４の機能は、供給孔４４を通って到達する電解質液体が、機械加工ヘッド１の内側で上昇したり下降するのを防止することである。
【００３１】
電極４の挿入のために対向電極１４内に小さい直径の長い孔を機械加工することは困難である。このことが、対向電極内により大きい直径の孔を機械加工し、その中に電極４のためのガイド・アセンブリ８６を軸方向に挿入する理由である。ガイド・アセンブリ８６は、底部から上部へ連続した以下の部材からなる。すなわち、電解質液体が流出することができ、中央に電解液４の通過のための孔９０が設けられている切欠き底部ディスク８８と、スペーサとして使用され、所定の高さに、電解液の通過のための対向電極１４の孔６２と本体２の孔４４に向き合う複数の通し孔９４を有する第１の中間チューブ９２と、電極４の通過とガイドのために１つのみの中央孔９８を穿孔され、電解質液体が上昇するのを防止するための円形の中間スペーサ９６と、スペーサとしてのみ使用される第２の中間チューブ１００と、電極４をガイドするために１つのみの中央孔１０４を穿孔された最上部円形スペーサ１０２とから成る。ガイド・アセンブリ８６は、対向電極１４の内側面の底部に配置されたショルダ１０６と当接する底部ディスク８８と、対向電極１４の内側壁に形成された円形の溝内に収容された弾性のリング８７によって対向電極１４の内部で軸方向に閉じ込められている。
【００３２】
最後に、電極４が、ガイド・アセンブリ８６の内側に軸方向に挿入されている。したがって、電極４がガイド・アセンブリ８６の内側に同心状に延びており、ガイド・アセンブリ８６が対向電極１４の内側に同心状に延び、対向電極１４が本体２の内側に同心状に延びている。
【００３３】
本発明の好ましい実施形態によると、作業電極４は、ガラスなどの非導電性材料製のスリーブ１０８内に導入されることによって電解液から絶縁され、作業ゾーンにすぐ近接している電極４の端部部分のみが、露出されている。したがって、このことは、電解液と接触している作業電極４の表面積と、同じ電解液と接触している対向電極１４の表面積との間の比が、十分低い、通常１：１００のオーダーであることを保証し、それによって、本発明による機械加工ヘッド１を、十分小さい寸法で製造することができる。作業電極４を電解質液体から絶縁するための他の方法があることは理解できるであろう。たとえば、テフロン（登録商標）などの非導電性の化学エッチング抵抗被覆を電極４上に直接被着させてもよい。このようにして被覆された電極４が、次に、金属チューブ内に導入される。
【００３４】
図８は、ポンプ５６と制御監視コンピュータ１００と接続された機械加工ヘッド１の概略図である。機械加工されるガラス板１１２が、水で満たされるのが望ましい作業タンク１１４内に配置される。電源３０が、電極４と対向電極１４の間に電位差を印加する。対向電極１４がアースと接続され、アノード電極４とカソードの対向電極１４の間の電位差が約−３０Ｖであるることが望ましい。２つの別個のポンプ、すなわち機械加工ヘッド１へ電解質液体を供給するためのものと、使用済みの電解液を排出するためものを、設けることができる。しかし、好ましくは、電解質液体のための供給パイプ５２と排出パイプ５４にそれぞれ連結された２つのステージ５６ａ、５６ｂを備えた単一のぜん動(peristaltic)ポンプ５６を使用することである。
【００３５】
電解質液体が予熱されていれば機械加工はより迅速である。実際、電解液が冷たいと、機械加工の開始が数十秒だけ遅れ、本発明による機械加工ヘッド１の産業上の使用に対して明らかな問題が生じる。機械加工ヘッド１は、予熱された電解液を機械加工ヘッド１内へ直接供給するように容易に適応させることができる。電解液が加熱される場所と作業ゾーンの間の熱損失を防止するために、加熱体を機械加工ヘッド１内に直接一体化させて設けるか、または、図８に示すように、加熱体１１６を機械加工ヘッド１の外側に設けるが、電解液供給パイプ５２上でヘッドに近接して配置させるか、のいずれでもよい。加熱体１１６は、コンピュータ１００によって調整された電源１１８に接続されている。電解液の温度を調整するために、熱センサを機械加工ヘッド１内に配置することが望ましい。
【００３６】
ぜん動ポンプ５４のステージ５６ａは、電解質流体をタンク１２０内へ取り入れるが、一方ポンプ５６のステージ５６ｂは、使用済みの電解液をタンク１２２へ排出する。
【００３７】
コンピュータ１００によって制御されたモータ３６が作業電極４を回転駆動する。この回転駆動が、より規則的な機械加工を確実にし、かつ作業ゾーンの領域内での電解液のより良好な流れを確実にする。最後に、図８の点線で示された矩形に含まれる機械加工ヘッド・アセンブリ１を、これもコンピュータ１００によって制御された三軸機械１２４を用いて３次元で移動させることができる。電極４とそのガラス・スリーブ１０８は、機械加工ヘッド１内へ引き込ませることが望ましい。このことは、機械加工ヘッドが速く降下し過ぎた場合、電極４とスリーブ１０８が破壊されないことを意味する。後者の下降速度を穿孔速度に対して調節するために、機械加工ヘッド１の内部の電極４とそのスリーブ１０８によって形成されたアセンブリに及ぼされる運動または力を計測することも想定内である。
【００３８】
使用済みの電解液の排出流速は、作業ゾーン内への供給流速よりも大きくすることができる。この流速の差は、異なる直径の電解液供給パイプと排出パイプ５２、５４を選択することによって得ることができる。機械加工プロセスによって発生された気体がこのようにして排出され、使用済みの電解液とともに少量の汚染された水が排出されるため、機械加工されなければならないガラス板が浸漬される水は清浄なままである。
【００３９】
作業電極４の端部の代替となる３つの実施形態が予定されている。図９Ａに示された第１の変形形態によると、電極４は平坦な端部を有する。この幾何形状は、機械加工された孔の底部が平坦であることを保証する。しかし、電界線の集中の観点からは最適ではない。この問題点は、作業電極４の端部が点に切り込まれた図９Ｂに示された変形形態によって克服される。電界線は尖端効果によって集中される。それにもかかわらず、機械加工された孔の底部は、電極４の端部の形状と相補的なコーン形状を有する。図９Ｃに示された第３の変形形態は作業電極の端部を斜めにされている。電界線を集中させる尖端効果が、電極４が回転駆動されるとき平坦な底部の孔を得る可能性と有利に組み合わされる。
【００４０】
本発明が説明された実施形態に限定されないこと、および様々な簡単な変更や変形形態が、添付の特許請求の範囲で定義されたような本発明の範囲から逸脱することなく当業者に想定できることは、いうまでもない。特に、加熱された鉛筆タイプの素子を、本体２内または対向電極１４内に導入することができる。別の解決法は、ディスク９６、１０２内に密封された通路を設けて、加熱体をスリーブ１０８とチューブ９２の間に設けられた空間内に配置することである。さらに別の解決法は、本体２の周囲全体に加熱体を配置することである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明による機械加工ヘッドの第１の角度からの斜視図である。
【図２】本発明による機械加工ヘッドの第１の角度とは異なる第２の角度からの斜視図である。
【図３】本発明による機械加工ヘッドの分解斜視図である。
【図４】本発明による機械加工ヘッドの立面図である。
【図５】図４に示した機械加工ヘッドの上面図である。
【図６】本発明による機械加工ヘッドの断面図である。
【図７】本発明による機械加工ヘッドの別の斜視図である。
【図８】ポンプおよび制御監視コンピュータと接続された機械加工ヘッドの概略図である。
【図９】作業電極の様々な実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１ 機械加工ヘッド、２ 本体、１４ 対向電極、４２、４４、４６ 孔、４８、５０ 挿入部、５８ 環状のショルダ、７８、８０ 円形の溝、８７ 弾性リング、８８ 切欠き底部ディスク、９４ 通し孔、９６ 中間スペーサ、９８、１０４ 中央孔、１００ 第２の中間チューブ、１０２ 最上部円形スペーサ、 １０６ ショルダ
【技術分野】
【０００１】
本発明は、化学エッチング支援放電加工ヘッドに関する。本発明は、特に、ガラス板などの非導電性材料内に孔を機械加工するためのこのタイプのヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板内に小さい寸法の孔をあけるための電解液内の電気化学反応で生じる放電の使用が最初に開示されたのは、１９６８年であった。このような既知の方法は、この日から改良されてきている。その現在の形態においては、この方法では、たとえば、３０％の濃度の苛性ソーダＮａＯＨで形成された電解槽内に、機械加工されるガラス板を浸漬させる。通常２５Ｖから４０Ｖの間で構成される一定の電圧が、エッチング機器の間に印加され、これが、カソード電極と、電解液に接触しているが作業ゾーンからある距離にあるアノードの対極とを形成する。エッチング機器上に形成される水素の泡がくっつきあって集まって電極を覆う気体の膜を形成する。膜の内部に出現する放電が、ガラスを局所的に腐食させる。
【０００３】
上記で説明された方法は、電解液内への機械加工されなければならない部品の表面全体の浸漬を必要とするという欠点を有する。苛性ソーダなどの液体は極めて腐食性があり、飛び散って目の中に入った場合、特に危険である。広い表面を有する大きな寸法の部品が処理されなければならない工業生産中、この方法は、大きな容積の槽を使用する必要があり、その上大量の電解液を使用する必要があり、この方法の実施を非常に危険なものとする。
【０００４】
電気化学放電を用いてガラス板内に孔をあける方法と装置が、Ｎｉｐｐｏｎ Ｓｈｅｅｔ Ｇｌａｓｓ Ｃｏｒｐ．Ｌｔｄ（日本板硝子株式会社）の名での特開平９−２３４６２９号で公知である。その装置は、機械加工されるガラス板と同一平面上に配置されたリング状の対向電極によって包囲された直線状の棒の形態の作業電極を備えている。管状のパイプから、対向電極によって形成される環状の空間内に電解液を滴下する。余分な電解液は対向電極の上縁から流れ出て、機械加工されるガラス板が配置されたタンクの上面に向かって排出される。
【０００５】
上記で説明された装置は、有利には、機械加工されるガラス板の全体が電解槽内に浸漬される必要がなく、したがって使用される電解液の量を減少させることができることを意味する。このようにして電解液の飛散のリスクが制限される。しかし、これは、実験装置に過ぎず、工業用の大きさに変換するのは困難である。実際、電極と対向電極によって形成されたアセンブリを、ガラス板上の他の場所に孔を機械加工するためにいかにして移動させることができるのかを想像することは困難である。逆に、電極／対向電極アセンブリを静止させながらガラス板を移動させることを想定することができる。この解決法も、ガラス板の対向電極に対する相対運動中に電解液を無駄にすることを含むため、あまり便利とはいえない。
【特許文献１】特開平９−２３４６２９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
電解液の使用を最適化し、作業ゾーン内へのその分散を最小にしながら、大きな寸法のガラス板を産業的な要求に適合する速度で処理できる機械加工ヘッドを提供することによって、他の欠点に加えて上述の欠点を克服することが、本発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
したがって、本発明は、内部に電極が延びており、この電極の周囲に放射状に延びている対向電極を収容する本体を備え、この本体が、電極、対向電極によって区画された空間内に電解質液体を供給する手段を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッドに関する。
【０００８】
これらの特徴によって、本発明は、３次元で移動させることができる本体によって本質的に形成された、化学エッチング支援放電加工ヘッドを提供する。このようにして、大きなガラス板を、それらを不動に保持し、正確に機械加工ヘッドのみを移動させながら機械加工することを想像することができ、このことは、本発明による機械加工ヘッドに使用の大きな柔軟性を与える。また、電解質液体が、電極の周囲に放射状に延びる対向電極によって区画された空間内に閉じ込められ、それによって使用される電解液の量が少なく、電解液の飛散のリスクが低減される。
【０００９】
本発明の相補的な特徴によると、この機械加工ヘッドはまた、使用後の電解質液体を排出する手段を備える。
【００１０】
この特徴は、電解質液体が使用後直ちに排出されるという点で、本発明による機械加工ヘッドのさらに安全な使用を保証する。電解質液体との接触のいかなるリスクもしたがって回避される。さらに、電解液の強制された流れが、作業ゾーン内の電解液の恒久的な更新に至り、それによって放電加工法の物理化学パラメータの優れた安定性を確実にする。
【００１１】
本発明の別の特徴によると、電解液の排出流速は、電解液の供給流速よりも大きい。
【００１２】
したがって、使用済みの電解液だけでなく機械加工法によって生成された気体も排出することが可能である。また、機械加工されるガラス板が水中に浸漬される場合、作業ゾーンの近傍に存在する水が、使用済みの電解液と同時に排出され、それによって槽の水は常に清浄なままである。
【００１３】
本発明の好ましい実施形態によると、対向電極は、電極の周囲に配置された回転体部分と、排出の際の電解液の閉じ込めを担い、電気的な機能は有さない最も外側の部分の形状を有する。本発明の機械加工ヘッドでは、電解液は、機械加工されるガラス板に対向する電極の端部によって区画された作業ゾーンのすぐ近傍に存在するのみである。したがって、対向電極は、作業電極の近傍になければならず、そうでない場合その電気化学的機能を行うことはできない。このため、その回転体の形状により、対向電極は電極に極めて近接し、したがって、作業ゾーンの周囲の電解質液体の流れを閉じ込めおよび監視する機能を行う。
【００１４】
本発明のその他の特徴および利点は、本発明による機械加工ヘッドの実施形態の以下の詳細な説明で、より明確になるであろう。この例は、添付の図面とともに限定されない例として与えられているに過ぎない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明は、大きなガラス板を容易にかつ正確に、産業的な規模の生産性で機械加工できるように３次元で移動することができる化学エッチング支援放電加工ヘッドを提供する、一般的な創意に由来している。さらに、本発明の好ましい変形形態では、機械加工ヘッドによれば、使用される電解液の量を減少させることができ、電解液の飛散のいかなるリスクも回避する、電解液を供給し、排出する手段を備える。
【００１６】
本発明を、ガラス板内への孔または空洞の機械加工に関連して説明する。本発明がこの材料に限定されないこと、およびプラスチック材料、セラミックなどの非導電性材料または半導体材料内への穿孔に適用できることは、言うまでもない。
【００１７】
本明細書に添付の図１、２は、全体を通じて符号１によって全体として示されている本発明による機械加工ヘッドを示している。この機械加工ヘッド１は、作業電極４が通って延びている本体２を備える。本体２は、苛性ソーダＮａＯＨなどの電解質流体を供給する手段６と排出する手段８を備える。機械加工ヘッド１の本体２は、固定ブラケット１０を介して三軸機械（図示せず）の枠と接続されている。この目的のために、固定ブラケット１０は、ねじを介した組立てのための通し孔１２を備える。
【００１８】
本発明の簡略化された変形形態によると、本体２は、本発明による機械加工ヘッド１のアノードの対極を形成する。
【００１９】
本発明の好ましい実施形態によると、対向電極は、中空の円筒の形態である回転体形状１４の一部である。これは、作業電極４の周囲に放射状に配置されている本体２とは別体とされ、それに係合されている。対向電極１４の上端は、電圧源と電気的に接続されるために部分的に切り取られている。
【００２０】
以下でわかるように、作業電極４は、対向電極１４と同じ電圧源に電気的に接続されるが、それ自体を中心に回転することができなければならない。簡単な解決法は、２つの直線状スロット１８を有し、対向電極１４上に装着された、たとえばねじ２０を介してねじ付けされた接点ストリップ１６を設けることである。絶縁板２２が、２つの部品間のいかなる短絡も防止するために接点ストリップ１６と対向電極１４の間に配置されている。接点ストリップ１６に形成された２つの直線状スロット１８は、接点ストリップ１６を３つの分岐に分離する。その中央分岐２４は２つの端部分岐２６よりも幅広である。直線状の棒の形態をとる作業電極４は、接点ストリップ１６の端部分岐２６の上側と中央分岐２４の下側を通り、軽く挟まれ、電極４と接点ストリップ１６の間の摩擦によってそれらの電気的接触が形成される。対向電極１４上に接点ストリップ１６を固定するねじ２０は、作業電極４を電源３０と接続するための電気接続ワイヤ２８を固定するためにも使用される（図８参照）。
【００２１】
同様に、対向電極１４に直接ねじ付けされたねじ３２が、電線３４を介して対向電極を電源３０と接続するために使用される。
【００２２】
最後に、作業電極４は、結合部材３８を介してモータ３６（図８参照）によって回転駆動させられる。
【００２３】
作業電極４は、たとえば、ステンレス鋼またはタングステンでもよい円形の直線状の棒である。この後者の材料は、優れた電気導体であり、高い溶融温度を有し、良好な耐化学性を有するという利点を有する。作業電極４の直径は、０．１ｍｍから１ｍｍの間で構成されるのが好ましい。対向電極１４は、たとえば、腐食に抵抗するためにニッケル・メッキ鋼である。
【００２４】
図３から７を参照して、本発明による機械加工ヘッド１の構造の詳細を議論する。
【００２５】
機械加工ヘッド１の本体２は、固定ブラケット１０に装着するための平坦な部分４０を有するほぼ円形の中空の部品である。この目的のために、平坦な部分４０は、ブラケット１０内にねじ付けするための２つの孔４２を有する。本体２は、内部空間へ開いており、電解質流体のための供給パイプ５２と排出パイプ５４がそれぞれ固定される２つの挿入部４８、５０を装着するために使用される２つの孔４４、４６があけられている。これらのパイプ５２、５４は、図８を参照して以下で詳細に説明するように、ポンプ５６に接続される。
【００２６】
本体２は、これもほぼ円形の中空の部品である対向電極１４と軸方向に係合されている。本体２は、対向電極１４の上端部を向くように設けられた環状のショルダ５８と当接している対向電極１４に対して軸方向に不動である（図６参照）。対向電極１４の内部空間内へ開いている、１つ、および好ましくはいくつかの規則的に離隔された通し孔６２を形成させた円形の溝６０を対向電極の所定の高さの位置に備えている。これらの通し孔６２は、本体２が対向電極１４に軸方向に不動であるとき、本体２に形成され、電解質液体が来る孔４４が、通し孔６２と同じ高さになるような高さに設けられている。したがって電解質液は、円形の溝６０に沿って流れ、複数の通し孔６２を介して対向電極の内部空間へ入り込む。したがって複数の通し孔６２によって、電解液をより良好に流し込むことができる。さらに、電解液供給孔４４が、対向電極１４内に機械加工される単一の孔６２と確実に向き合わせるために、本体２の内部の対向電極１４の位置を指示することは必要ない。
【００２７】
対向電極１４は、本体２よりも背が高い。本体２から突き出している対向電極１４の部分６４は、本体２を対向電極１４に押し付け、それを不動にするロッキング・ナット６８内にねじ止めするための外側ねじ溝６６を有してもよい。
【００２８】
対向電極１４は、電解質液体の排出のために、本体２の厚さを貫通する孔４６と連絡している環状の室７２を、本体２の内壁とともに形成する減少した直径７０を下側の部分に有する。
【００２９】
対向電極１４は、外向きに傾斜された円形の縁部７４と内向きに傾斜された円形の縁部７６を底部に有する。その簡略化された実施形態では、対向電極１４の円形の縁部は平坦であってよい。それにもかかわらず、吸引による電解質液体の排出をより困難にする。これが、外側の傾斜された縁部７４が設けられる理由であり、電解液の通過のためにより大きな空間を残すことができる。同様に、内側の縁部７６もまた、尖端現象を防止するために、電極４と対向電極１４の間に形成される電界線が分配される表面を、できる限り大きくするために傾斜されている。放電電気化学反応が生じることがある対向電極上での電界線の過度の集中を防止することが望ましい。
【００３０】
最後に、対向電極１４は、２つの密封ガスケット８２、８４が収容される２つの円形の溝７８、８０を有する。これら２つの密封ガスケット８２、８４の機能は、供給孔４４を通って到達する電解質液体が、機械加工ヘッド１の内側で上昇したり下降するのを防止することである。
【００３１】
電極４の挿入のために対向電極１４内に小さい直径の長い孔を機械加工することは困難である。このことが、対向電極内により大きい直径の孔を機械加工し、その中に電極４のためのガイド・アセンブリ８６を軸方向に挿入する理由である。ガイド・アセンブリ８６は、底部から上部へ連続した以下の部材からなる。すなわち、電解質液体が流出することができ、中央に電解液４の通過のための孔９０が設けられている切欠き底部ディスク８８と、スペーサとして使用され、所定の高さに、電解液の通過のための対向電極１４の孔６２と本体２の孔４４に向き合う複数の通し孔９４を有する第１の中間チューブ９２と、電極４の通過とガイドのために１つのみの中央孔９８を穿孔され、電解質液体が上昇するのを防止するための円形の中間スペーサ９６と、スペーサとしてのみ使用される第２の中間チューブ１００と、電極４をガイドするために１つのみの中央孔１０４を穿孔された最上部円形スペーサ１０２とから成る。ガイド・アセンブリ８６は、対向電極１４の内側面の底部に配置されたショルダ１０６と当接する底部ディスク８８と、対向電極１４の内側壁に形成された円形の溝内に収容された弾性のリング８７によって対向電極１４の内部で軸方向に閉じ込められている。
【００３２】
最後に、電極４が、ガイド・アセンブリ８６の内側に軸方向に挿入されている。したがって、電極４がガイド・アセンブリ８６の内側に同心状に延びており、ガイド・アセンブリ８６が対向電極１４の内側に同心状に延び、対向電極１４が本体２の内側に同心状に延びている。
【００３３】
本発明の好ましい実施形態によると、作業電極４は、ガラスなどの非導電性材料製のスリーブ１０８内に導入されることによって電解液から絶縁され、作業ゾーンにすぐ近接している電極４の端部部分のみが、露出されている。したがって、このことは、電解液と接触している作業電極４の表面積と、同じ電解液と接触している対向電極１４の表面積との間の比が、十分低い、通常１：１００のオーダーであることを保証し、それによって、本発明による機械加工ヘッド１を、十分小さい寸法で製造することができる。作業電極４を電解質液体から絶縁するための他の方法があることは理解できるであろう。たとえば、テフロン（登録商標）などの非導電性の化学エッチング抵抗被覆を電極４上に直接被着させてもよい。このようにして被覆された電極４が、次に、金属チューブ内に導入される。
【００３４】
図８は、ポンプ５６と制御監視コンピュータ１００と接続された機械加工ヘッド１の概略図である。機械加工されるガラス板１１２が、水で満たされるのが望ましい作業タンク１１４内に配置される。電源３０が、電極４と対向電極１４の間に電位差を印加する。対向電極１４がアースと接続され、アノード電極４とカソードの対向電極１４の間の電位差が約−３０Ｖであるることが望ましい。２つの別個のポンプ、すなわち機械加工ヘッド１へ電解質液体を供給するためのものと、使用済みの電解液を排出するためものを、設けることができる。しかし、好ましくは、電解質液体のための供給パイプ５２と排出パイプ５４にそれぞれ連結された２つのステージ５６ａ、５６ｂを備えた単一のぜん動(peristaltic)ポンプ５６を使用することである。
【００３５】
電解質液体が予熱されていれば機械加工はより迅速である。実際、電解液が冷たいと、機械加工の開始が数十秒だけ遅れ、本発明による機械加工ヘッド１の産業上の使用に対して明らかな問題が生じる。機械加工ヘッド１は、予熱された電解液を機械加工ヘッド１内へ直接供給するように容易に適応させることができる。電解液が加熱される場所と作業ゾーンの間の熱損失を防止するために、加熱体を機械加工ヘッド１内に直接一体化させて設けるか、または、図８に示すように、加熱体１１６を機械加工ヘッド１の外側に設けるが、電解液供給パイプ５２上でヘッドに近接して配置させるか、のいずれでもよい。加熱体１１６は、コンピュータ１００によって調整された電源１１８に接続されている。電解液の温度を調整するために、熱センサを機械加工ヘッド１内に配置することが望ましい。
【００３６】
ぜん動ポンプ５４のステージ５６ａは、電解質流体をタンク１２０内へ取り入れるが、一方ポンプ５６のステージ５６ｂは、使用済みの電解液をタンク１２２へ排出する。
【００３７】
コンピュータ１００によって制御されたモータ３６が作業電極４を回転駆動する。この回転駆動が、より規則的な機械加工を確実にし、かつ作業ゾーンの領域内での電解液のより良好な流れを確実にする。最後に、図８の点線で示された矩形に含まれる機械加工ヘッド・アセンブリ１を、これもコンピュータ１００によって制御された三軸機械１２４を用いて３次元で移動させることができる。電極４とそのガラス・スリーブ１０８は、機械加工ヘッド１内へ引き込ませることが望ましい。このことは、機械加工ヘッドが速く降下し過ぎた場合、電極４とスリーブ１０８が破壊されないことを意味する。後者の下降速度を穿孔速度に対して調節するために、機械加工ヘッド１の内部の電極４とそのスリーブ１０８によって形成されたアセンブリに及ぼされる運動または力を計測することも想定内である。
【００３８】
使用済みの電解液の排出流速は、作業ゾーン内への供給流速よりも大きくすることができる。この流速の差は、異なる直径の電解液供給パイプと排出パイプ５２、５４を選択することによって得ることができる。機械加工プロセスによって発生された気体がこのようにして排出され、使用済みの電解液とともに少量の汚染された水が排出されるため、機械加工されなければならないガラス板が浸漬される水は清浄なままである。
【００３９】
作業電極４の端部の代替となる３つの実施形態が予定されている。図９Ａに示された第１の変形形態によると、電極４は平坦な端部を有する。この幾何形状は、機械加工された孔の底部が平坦であることを保証する。しかし、電界線の集中の観点からは最適ではない。この問題点は、作業電極４の端部が点に切り込まれた図９Ｂに示された変形形態によって克服される。電界線は尖端効果によって集中される。それにもかかわらず、機械加工された孔の底部は、電極４の端部の形状と相補的なコーン形状を有する。図９Ｃに示された第３の変形形態は作業電極の端部を斜めにされている。電界線を集中させる尖端効果が、電極４が回転駆動されるとき平坦な底部の孔を得る可能性と有利に組み合わされる。
【００４０】
本発明が説明された実施形態に限定されないこと、および様々な簡単な変更や変形形態が、添付の特許請求の範囲で定義されたような本発明の範囲から逸脱することなく当業者に想定できることは、いうまでもない。特に、加熱された鉛筆タイプの素子を、本体２内または対向電極１４内に導入することができる。別の解決法は、ディスク９６、１０２内に密封された通路を設けて、加熱体をスリーブ１０８とチューブ９２の間に設けられた空間内に配置することである。さらに別の解決法は、本体２の周囲全体に加熱体を配置することである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明による機械加工ヘッドの第１の角度からの斜視図である。
【図２】本発明による機械加工ヘッドの第１の角度とは異なる第２の角度からの斜視図である。
【図３】本発明による機械加工ヘッドの分解斜視図である。
【図４】本発明による機械加工ヘッドの立面図である。
【図５】図４に示した機械加工ヘッドの上面図である。
【図６】本発明による機械加工ヘッドの断面図である。
【図７】本発明による機械加工ヘッドの別の斜視図である。
【図８】ポンプおよび制御監視コンピュータと接続された機械加工ヘッドの概略図である。
【図９】作業電極の様々な実施形態を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１ 機械加工ヘッド、２ 本体、１４ 対向電極、４２、４４、４６ 孔、４８、５０ 挿入部、５８ 環状のショルダ、７８、８０ 円形の溝、８７ 弾性リング、８８ 切欠き底部ディスク、９４ 通し孔、９６ 中間スペーサ、９８、１０４ 中央孔、１００ 第２の中間チューブ、１０２ 最上部円形スペーサ、 １０６ ショルダ
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極（４）が内部に延びており、前記電極（４）の周囲に放射状に延びている対向電極（１４）を収容する本体（２）を備え、前記本体（２）が、前記電極（４）と前記対向電極（１４）によって区画された空間内に電解質液体を供給する手段（６）を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッド。
【請求項２】
電極（４）の周りに放射状に配置され、本体（２）の内側に軸方向に係合された対向電極（１４）を備え、前記本体（２）が、電解質液体を前記電極（４）と前記対向電極（１４）によって区画された空間内に供給する手段（６）を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッド。
【請求項３】
使用後の電解質液体を排出する手段（６）も備えることを特徴とする請求項１または２に記載の機械加工ヘッド。
【請求項４】
電解液排出流速が、前記電解液の供給流速よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の機械加工ヘッド。
【請求項５】
前記電極（４）のためのガイド・アセンブリ（８６）が、前記対向電極（１４）内へ軸方向に導入されることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項６】
電解質液体を供給するための少なくとも１つの通し孔（４４）が、前記本体（２）内に設けられ、その孔（４４）が、電極（４）のためのガイド・アセンブリ（８６）内に形成された少なくとも１つの通し孔（９４）とそれ自体連絡している前記対向電極（１４）内に形成された少なくとも１つの通し孔（６２）に連絡していることを特徴とする請求項５に記載の機械加工ヘッド。
【請求項７】
前記電解質液体を排出するための第２の孔（４６）が本体（２）に設けられ、前記孔（４６）が、前記本体（２）と前記対向電極（１４）によって区画された環状の空間（７２）と連絡していることを特徴とする請求項６に記載の機械加工ヘッド。
【請求項８】
前記ガイド・アセンブリ（８６）が、中央に電極（４）の通過のための孔（９０）を有する少なくとも１つの切欠き底部ディスク（８８）と、電極（４）の通過とガイドのためのただ１つの中央孔（９８）を穿孔された中間スペーサ（９６）を備え、少なくとも１つの通し孔（９４）が穿孔された中間チューブ（９２）が、前記底部ディスク（８８）と前記中間スペーサ（９６）の間に配置されていることを特徴とする請求項６または７に記載の機械加工ヘッド。
【請求項９】
前記電極（４）が円形の棒であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１０】
前記電極（４）の端部が平坦である、点に切り込まれている、または斜めにされていることを特徴とする請求項９に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１１】
前記電極（４）の直径が、０．１ｍｍから１ｍｍの間で構成されていることを特徴とする請求項９または１０のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１２】
前記電極（４）が、その下端部分で電解液と接触するのみであるように絶縁されていることを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１３】
前記電極（４）が、電気絶縁スリーブ（１０８）内に導入されることを特徴とする請求項１２に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１４】
前記電極（４）が、電解質生成物によるエッチングに対して非導電性の被覆抵抗性材で被覆されることを特徴とする請求項１２に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１５】
前記電極（４）が金属製チューブ内に導入されることを特徴とする請求項１３に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１６】
前記電極（４）が、ステンレス鋼またはタングステンであることを特徴とする請求項９から１５のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１７】
使用前に電解液を加熱する手段を備えることを特徴とする請求項１から１６のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１８】
加熱体（１１６）が、機械加工ヘッド（２）に電解液を供給するパイプ（５２）上に配置されていることを特徴とする請求項１から１６のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１９】
前記対向電極（１４）が、その底部に内側に傾斜した円形の縁部（７６）を有することを特徴とする請求項１から１８のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２０】
前記対向電極（４）が、その底部に外側に傾斜した円形の縁部（７４）を有することを特徴とする請求項１９に記載の機械加工ヘッド。
【請求項２１】
電解液を供給するためのパイプ（５２）と排出するためのパイプ（５４）の２本のパイプを備え、前記２本のパイプ（５２、５４）が、第１の端部で前記通し孔（４４、４６）と接続され、第２の端部でぜん動ポンプ（５６）の２つのステージ（５５ａ、５６ｂ）と接続されていることを特徴とする請求項１から２０のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２２】
前記電極（４）が回転駆動されることを特徴とする請求項１から２１のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２３】
前記電極（４）が、軸方向に移動することができることを特徴とする請求項１から２２のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２４】
前記電極に及ぼされる軸方向の運動または軸方向の力を測定する手段を備えることを特徴とする請求項２３に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１】
電極（４）が内部に延びており、前記電極（４）の周囲に放射状に延びている対向電極（１４）を収容する本体（２）を備え、前記本体（２）が、前記電極（４）と前記対向電極（１４）によって区画された空間内に電解質液体を供給する手段（６）を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッド。
【請求項２】
電極（４）の周りに放射状に配置され、本体（２）の内側に軸方向に係合された対向電極（１４）を備え、前記本体（２）が、電解質液体を前記電極（４）と前記対向電極（１４）によって区画された空間内に供給する手段（６）を備えることを特徴とする化学エッチング支援放電加工ヘッド。
【請求項３】
使用後の電解質液体を排出する手段（６）も備えることを特徴とする請求項１または２に記載の機械加工ヘッド。
【請求項４】
電解液排出流速が、前記電解液の供給流速よりも大きいことを特徴とする請求項３に記載の機械加工ヘッド。
【請求項５】
前記電極（４）のためのガイド・アセンブリ（８６）が、前記対向電極（１４）内へ軸方向に導入されることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項６】
電解質液体を供給するための少なくとも１つの通し孔（４４）が、前記本体（２）内に設けられ、その孔（４４）が、電極（４）のためのガイド・アセンブリ（８６）内に形成された少なくとも１つの通し孔（９４）とそれ自体連絡している前記対向電極（１４）内に形成された少なくとも１つの通し孔（６２）に連絡していることを特徴とする請求項５に記載の機械加工ヘッド。
【請求項７】
前記電解質液体を排出するための第２の孔（４６）が本体（２）に設けられ、前記孔（４６）が、前記本体（２）と前記対向電極（１４）によって区画された環状の空間（７２）と連絡していることを特徴とする請求項６に記載の機械加工ヘッド。
【請求項８】
前記ガイド・アセンブリ（８６）が、中央に電極（４）の通過のための孔（９０）を有する少なくとも１つの切欠き底部ディスク（８８）と、電極（４）の通過とガイドのためのただ１つの中央孔（９８）を穿孔された中間スペーサ（９６）を備え、少なくとも１つの通し孔（９４）が穿孔された中間チューブ（９２）が、前記底部ディスク（８８）と前記中間スペーサ（９６）の間に配置されていることを特徴とする請求項６または７に記載の機械加工ヘッド。
【請求項９】
前記電極（４）が円形の棒であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１０】
前記電極（４）の端部が平坦である、点に切り込まれている、または斜めにされていることを特徴とする請求項９に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１１】
前記電極（４）の直径が、０．１ｍｍから１ｍｍの間で構成されていることを特徴とする請求項９または１０のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１２】
前記電極（４）が、その下端部分で電解液と接触するのみであるように絶縁されていることを特徴とする請求項９から１１のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１３】
前記電極（４）が、電気絶縁スリーブ（１０８）内に導入されることを特徴とする請求項１２に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１４】
前記電極（４）が、電解質生成物によるエッチングに対して非導電性の被覆抵抗性材で被覆されることを特徴とする請求項１２に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１５】
前記電極（４）が金属製チューブ内に導入されることを特徴とする請求項１３に記載の機械加工ヘッド。
【請求項１６】
前記電極（４）が、ステンレス鋼またはタングステンであることを特徴とする請求項９から１５のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１７】
使用前に電解液を加熱する手段を備えることを特徴とする請求項１から１６のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１８】
加熱体（１１６）が、機械加工ヘッド（２）に電解液を供給するパイプ（５２）上に配置されていることを特徴とする請求項１から１６のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項１９】
前記対向電極（１４）が、その底部に内側に傾斜した円形の縁部（７６）を有することを特徴とする請求項１から１８のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２０】
前記対向電極（４）が、その底部に外側に傾斜した円形の縁部（７４）を有することを特徴とする請求項１９に記載の機械加工ヘッド。
【請求項２１】
電解液を供給するためのパイプ（５２）と排出するためのパイプ（５４）の２本のパイプを備え、前記２本のパイプ（５２、５４）が、第１の端部で前記通し孔（４４、４６）と接続され、第２の端部でぜん動ポンプ（５６）の２つのステージ（５５ａ、５６ｂ）と接続されていることを特徴とする請求項１から２０のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２２】
前記電極（４）が回転駆動されることを特徴とする請求項１から２１のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２３】
前記電極（４）が、軸方向に移動することができることを特徴とする請求項１から２２のいずれかに記載の機械加工ヘッド。
【請求項２４】
前記電極に及ぼされる軸方向の運動または軸方向の力を測定する手段を備えることを特徴とする請求項２３に記載の機械加工ヘッド。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２００６−２９７５９１（Ｐ２００６−２９７５９１Ａ）
【公開日】平成１８年１１月２日（２００６．１１．２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００６−１１６４４７（Ｐ２００６−１１６４４７）
【出願日】平成１８年４月２０日（２００６．４．２０）
【出願人】（５９１０７７０５８）
【氏名又は名称原語表記】ＡＳＵＬＡＢ ＳＯＣＩＥＴＡ ＡＮＯＮＹＭＥ
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成１８年１１月２日（２００６．１１．２）
【国際特許分類】
【出願日】平成１８年４月２０日（２００６．４．２０）
【出願人】（５９１０７７０５８）
【氏名又は名称原語表記】ＡＳＵＬＡＢ ＳＯＣＩＥＴＡ ＡＮＯＮＹＭＥ
【Ｆターム（参考）】
[ Back to top ]