Fターム[3C060CF12]の内容
穴あけ、型抜、切断刃以外の手段による切断 (5,369) | 熱 (79) | ワークを直接加熱するもの (24) | 熱風によるもの (1)
Fターム[3C060CF12]に分類される特許
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基板分断システム、基板製造装置、基板スクライブ方法および基板分断方法
【課題】設置面積を小さくしてコンパクトであり、また、各種マザー基板を効率よく分断することができる基板分断システムおよび基板分断システムを提供する。
【解決手段】配置面積を小さくしてコンパクトであり、しかも基板を効率よく分断することが出来る基板分断システムを提供する。中空直方体状の架台10内に搬入されるマザー基板の少なくとも一箇所側縁部を保持し、中空直方体の架台10の一辺に沿って往復移動可能されたクランプ装置50が取り付けられている。クランプ装置50にてクランプされたマザー基板の上面および下面からそれぞれマザー基板を分断させる一対の基板分断装置が、クランプ装置50の移動方向と直交する方向に沿って移動できるように分断装置ガイド体30に設けられている。マザー基板を保持したクランプ装置50を移動させるとき、基板支持装置がマザー基板を摺接することなく支持する。
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