【課題】 内部圧力が大気圧以下で供給されるガスボンベを用いたガス供給システムにおいて、パージガス、空気など大気圧以上のガスが前記ガスボンベに逆流することを防止する
【解決手段】 ガスボンベ遮断弁ＭＶ１とガス分岐点２０との間に、逆流防止用遮断弁ＡＶ２を設けて、また、逆流防止用遮断弁ＡＶ２の開閉の判断を行うために、逆流防止用遮断弁ＡＶ２の前後にガスラインの圧力測定用の圧力計を設けた逆流防止監視付きガス供給システムとした。 （もっと読む）