【課題】パージガスの消費量を削減可能なシリコンウエーハなどの保管対象物の保管システムを提供する。
【解決手段】保管対象物ＳＷを密封状に収納可能で且つパージ用ガスのための導入口６ａおよび排出口６ｂを備えた密封容器５と、密封容器５を載置可能な保管ユニット１ａ，３と、密封容器５にパージガスを供給するガス供給経路４ａ，４ｂとを備え、保管ユニット１ａ，３には、密封容器５の保管ユニット１ａ，３への載置に基づいて、導入口６ａをガス供給経路４ａ，４ｂと連通接続させ、パージガスの導入を開始させる自動パージ機構８が設けられており、保管ユニット１ａ，３に新たに載置された密封容器５に第１流量のパージガスを一定期間に渡って導入し、一定期間の経過後に第１流量を下回る第２流量のパージガスを導入開始する制御装置４０を有する保管システム５０とした。 （もっと読む）

【課題】フォーク上の荷の重量及び載置位置に関わらずに高精度の移載動作を行うことができる移載装置を提供する。
【解決手段】傾斜センサからの出力に基づいてアッパーフォーク部の傾斜角度θを認識し（Ｓ１）、傾斜角度θが低速用しきい値Ｂを下回るときには（Ｓ２）、フォークの撓み量は無視し得る程度であると判断して、通常速度パターンＰ１でフォーク１の進退動作を行わせ（Ｓ３）、傾斜角度θが低速用しきい値Ｂ以上で且つ停止用しきい値Ａ以下であれば（Ｓ４）、フォークが無視できないほどの撓み量を有していると判断して、低速パターンＰ２でフォークの進退動作を行わせ（Ｓ５）、傾斜角度θが停止用しきい値Ａを超えていれば、フォークの撓み量が限度を超えていると判断して、フォークの移動を停止する（Ｓ６）。 （もっと読む）