【課題】ウエーハなどの保管対象物をより良い条件で保管可能なシステムおよび方法を提供すること。不活性ガスの消費量を削減可能なシステムおよび方法を提供すること。
【解決手段】保管対象物２を密閉状に収納可能で、内部から外部への気体の移動と外部から内部への気体の移動とを許す制御ポート４ａ，４ｂを備えた保管容器４と、保管容器４を収納する真空チャンバーＣｎと、真空チャンバーＣｎと真空減圧装置Ｐ，５とを接続する排気経路Ｒｄｎと、真空チャンバーＣｎと不活性ガス供給手段７とを接続する不活性ガス供給経路Ｒｐｎとを備え、真空チャンバーＣｎ内を真空に保持する真空保管モードと、保管容器の出庫に際して、真空チャンバーＣｎと保管容器４とを不活性ガスで満たすべく対応する不活性ガス供給経路Ｒｐｎを開放状態にする出庫準備モードとを有する保管システム。 （もっと読む）

【課題】真空容器に栓開閉装置を設ける必要がなく、気体制御ポートが収納容器のどの箇所に配置されていても確実な気体置換操作を容易に且つ効率的に実施可能な気体置換装置および気体置換方法を提供する。
【解決手段】内部と外部の間の気体の移動を内外の圧力差に基づいて許す気体制御ポート３ａ，３ｂを備えた収納容器２、収納容器２を収納可能な密封式の置換操作容器７、置換操作容器７内部を減圧する減圧装置１５、置換操作容器７内部に不活性ガスを供給するガス供給装置１６を設け、減圧装置１５による置換操作容器７内部の減圧によって収納容器２内が気体制御ポート３ａを介して減圧化され、ガス供給装置１６による不活性ガス供給によって、気体制御ポート３ｂを介して収納容器２に不活性ガスが満たされる構成にした。 （もっと読む）

【課題】パージガスの消費量を削減可能なシリコンウエーハなどの保管対象物の保管システムを提供する。
【解決手段】保管対象物ＳＷを密封状に収納可能で且つパージ用ガスのための導入口６ａおよび排出口６ｂを備えた密封容器５と、密封容器５を載置可能な保管ユニット１ａ，３と、密封容器５にパージガスを供給するガス供給経路４ａ，４ｂとを備え、保管ユニット１ａ，３には、密封容器５の保管ユニット１ａ，３への載置に基づいて、導入口６ａをガス供給経路４ａ，４ｂと連通接続させ、パージガスの導入を開始させる自動パージ機構８が設けられており、保管ユニット１ａ，３に新たに載置された密封容器５に第１流量のパージガスを一定期間に渡って導入し、一定期間の経過後に第１流量を下回る第２流量のパージガスを導入開始する制御装置４０を有する保管システム５０とした。 （もっと読む）

【課題】内部への樹脂由来のガスの放散を抑制できる半導体用ケースを提供する。
【解決手段】少なくとも内側面が樹脂で構成され、レチクルまたはウェハを収容するケース本体と、内側面を被覆すると共に、内側面から樹脂に含まれる気化物質が放散することを防止するダイヤモンドライクカーボン膜とを備えた。 （もっと読む）

【課題】本発明は、クリーンルームの壁面等に簡単に取り付けることができる小型で簡単な構造のシャワールーム装置を提供することを課題とする。
【解決手段】エアーシャワー装置１０は、クリーンルームとは別個の移動可能な構造体であり、骨組み構造体１１に取り付けられた壁面部材によりエアーシャワー空間１７が画成される。第１の入出口は壁面部材に形成された開閉ドアであり、第２の入出口は壁面部材が設けられない面である。骨組み構造体１１はパイプ材により構成され、空気通路は骨組み構造体の一部であるパイプ材により形成される。パイプ材に塵埃除去用プレフィルタ１５が設けられる。 （もっと読む）