【課題】ウェーハにクラックなどが生じること無しに表面保護フィルムを剥離する。
【解決手段】ウェーハ（２０）の表面に貼付けられた表面保護フィルム（１１）を剥離する表面保護フィルム剥離方法において、表面保護フィルムを上方に向けてウェーハを可動テーブル（３１）上に支持し、表面保護フィルムの一端（２８）において表面保護フィルムに切込み（１５）をウェーハの表面に沿って形成し、表面保護フィルムの一端において切込みが形成された部分の表面に剥離テープを貼付け、可動テーブルをウェーハの他端（２９）から一端に向かう方向に移動させて、表面保護フィルムをウェーハの表面から剥離する。また、切込みが形成された部分を把持した状態で可動テーブルを移動させる場合には、剥離テープを用いることなしに、表面保護フィルムを剥離できる。 （もっと読む）