【課題】益々薄型化されるＦＰＤ用のガラス基板を適切に扱うことのできる後処理装置を提供する。
【解決手段】化学研磨により薄型化された貼合せガラス基板ＧＬを受入れて、その後の処理を実行する後処理装置ＥＱＵである。ガラス基板を搬送する回転ローラＲＬによる搬送路と、受入れたガラス基板を搬送路に引き渡す導入部１と、搬送路からガラス基板ＧＬを受取って取り出す導出部５とを備えて構成される。導入部１は、ガラス基板を保持する載置部１０と、載置部１０を起立及び降下させる駆動部２０とを有し、駆動部２０の往復運動に対応して、載置部１０が降下状態と起立状態とに切り換る。 （もっと読む）