【課題】陽極接合法により、安定な気液界面を持ち、不純物の溶出を起こさない、狭間隙を形成することで、化学・生化学の分析や反応を安定に精度良く行うことができると共に、安価なスライド式バルブ及びその製造方法を提供することである。
【解決手段】スライド式バルブは、流路と、第１、第２の開口部２６、２７を有する第１、第２のガラス基板２１、２２と、陽極接合法で第１、第２のガラス基板２１、２２に固定された第１の半導体部材２３ａと、上記第１、第２のガラス基板２１、２２と相対的に移動可能な、上記液体が流れる流路と第３の開口部２８を有する第２の半導体部材２３ｂとを有している。第１、第２のガラス基板２１、２２と第２の半導体部材２３ｂとの間には狭間隙部３７、３８が存在し、第１、第２のガラス基板２１、２２と対向する第２の半導体部材２３ｂの面には、撥水性金属膜３５、３６が形成されている。 （もっと読む）