【課題】簡素な構成で排気流量を小流量から大流量に切り替えることのできる真空排気用のボールバルブ及び真空排気装置を提供すること。
【解決手段】吸気ポート３３と排気ポート３４との間が前記貫通路４５を介して連通する全開状態と、両ポート３３、３４の間が遮断される閉止状態と、前記貫通路４５の一端が排気ポート３４の開口部に臨みかつ前記貫通路４５の他端が吸気ポート３３の開口部から隠れる微小開放状態と、のいずれかとなるようにボール部材４１を回動自在に設けると共に、前記微小開放状態のときに、前記貫通路４５と吸気ポート３３との間を微小な隙間により連通させるための微小連通路４８を前記ボール部材４１に設ける。 （もっと読む）

【課題】ボールバルブのような流路を遮蔽体で断続するタイプのバルブにあっては遮蔽体を駆動するステムの軸周りのシールが不十分で、十分な機能が発揮されなかった。
【解決手段】この発明は、２個のステムリングｓの上下を、ゴムを基質として被覆したフッ素重合体操からなるＯリング（ゴムをテフロン（デユポン社の商標）で被覆したＯリング（「カルレッツ」、デユポン社商標）ｋ）でこれらを挟持し、更にステムベアリングで挟持して（シール部材）パッキング部材Ｍを構成したもの。 （もっと読む）

【課題】 小型化、軽量化が可能で、真空系にも使用可能な気密性の得られる新規なバルブを提供すること。
【解決手段】 複数の流体流路孔を設けた外殻４と、外殻４内に回転可能に保持された回転支持体６と、回転支持体６に支持され、回転支持体６の回転軸からの距離が変化自在であると共に、回転軸に向かう付勢力が付与されている弁体８と、外殻４の内面に流体流路孔２６の１つを囲んで形成された弁座２１と、弁体８を付勢力に抗して押圧し、回転軸から離れるように変位させ、弁座２１に当接した状態で保持する押圧／保持機構１０と、を備えたバルブであって、閉鎖時には、回転支持体６の回転によって弁体８が弁座２１と対向する位置に移動すると共に、押圧／保持機構１０によって弁体８が弁座２１に当接して保持され、開通時には、弁体８が弁座２１から離反すると共に回転支持体６の回転によって移動し、流体流路孔２６の少なくとも２つが連通する。 （もっと読む）