【課題】供給側と排気側の何れにも用いることができるパージ用の開閉バルブを備えた基板収納容器及びこれを用いた気体の置換方法を提供する。
【解決手段】貫通孔４２が形成された円筒状のボール開閉弁４０を、下筒１０に回転自在に軸支し、ボール開閉弁４０を収容する保持筒３０を、下筒１０に対して軸線方向に移動可能に収容し、保持筒３０の内壁に、下筒１０を軸線方向に案内する第一カム溝４４と、下筒１０の移動に伴いボール開閉弁４２を回転させる第二カム溝４５とを形成する。そして、第一カム溝４４及び第二カム溝４５の案内によりボール開閉弁４０を回転させ、通常時は、貫通孔４２が軸線方向に対して垂直な方向を向かせることで、容器内部を気密に保持し、保持筒３０に対して下筒１０が容器内部側に移動させて、貫通孔４２が軸線方向に対して平行な方向を向かせることで、容器内外を連通させる。 （もっと読む）

【課題】 真空破壊能力が大きく速やかに真空破壊できる排気弁を提供する。
【解決手段】 弁室３内に弁室３内壁との間に流路を設けた有底のほぼ円筒形状で側壁に内外を連通する通孔１１ａを有するフロート受け１０を配する。フロート受け１０内にフロート１２を自由状態で配する。フロート受け１０の側壁１０ａと底壁１０ｂを別体に形成して側壁１０ａを弁室３内に固定すると共に底壁１０ｂをコイルバネ１３で上方に付勢して配する。フロート受け１０の通孔１１ａの下方の側壁１０ａ下部に内外を連通する第２通孔１１ｂを形成する。底壁１０ｂが上方に変位したときにフロート受け１０内のフロート１２下方が通孔１１ａを介して流入口４と連通すると共に流出口５から弁室３内に流入する外部空気の勢いで底壁１０ｂがコイルバネ１３に抗して下方に変位したときにフロート受け１０内のフロート１２下方が通孔１１ａと第２通孔１１ｂを介して流入口４と連通する。 （もっと読む）

【課題】管継手の本管部と枝管部の継手構造が極めてコンパクトで逆流防止機能付きの通気管接続用の管継手を提供することを目的とする。
【解決手段】両端に上流側排水管接続口と下流側排水管接続口とを備える本管部と、通気管接続口を備え、前記本管部の管軸に対し直交する平面であって該平面に対し平行に延びており、かつ、前記本管部と流体連通にある枝管部を含み、前記枝管部の内径は、前記本管部の内径に対し４０％〜９０％の範囲内にあり、かつ、前記枝管部の内部管底は、前記本管部の内径に対し６０％以上の高さの位置において、前記本管部の内壁面から外方へ向けて水平に延びていることを特徴とする通気管接続用の管継手を提供する。 （もっと読む）

【課題】 洗浄時に漏れが発生せず、確実に真空破壊する信頼性の高いバキュームブレーカを提供する。
【解決手段】 洗浄水の流入口と流出口とを備え、側面に通気孔を有する管状のケーシングと、筒状部からテーパー部を介して対向したスリット部が設けられた可撓性弁部材とを有し、該可撓性弁部材はその筒状部が前記ケーシングの内壁面と隙間を形成して収納され、前記流入口から供給された洗浄水によって拡径して前記通気孔を閉じ、前記ケーシングからの漏水を防止すると共に、流入口の真空状態に応答して前記スリット部が閉じ、前記前記流出口から前記流入口への逆流を防止するバキュームブレーカにおいて、前記可撓性弁部材の筒状部の前記通気孔よりも下流側には、対向する前記ケーシングへ向かって突出したビード部が周方向に形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）