ポンプは、流体チャンバと、流体チャンバと流体連通している入口および出口ポートと、を画定するポンプ本体と、入口ポートに連結される入口逆止め弁と、出口ポートに連結される出口逆止め弁と、ポンプ本体に連結され、ピストンチャンバを画定するピストンハウジングと、を含む。ピストンアセンブリは、少なくとも部分的にピストンチャンバ内に、および少なくとも部分的に流体チャンバ内に配置され、ピストンと、ポンプ本体に近接してピストンに連結されるポペットと、を含む。加えて、ポンプは、ピストンハウジングの一部とポンプ本体の間に配置されるグランドを含む。さらに、ポンプは、１０ポペットフランジに連結されるダイアフラムに軸方向に連結されるポペットヘッドを有するポペットを含む。ポペットヘッドはピストンに連結される。
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精密供給ポンプは、内部に配置した内部チャンバーを有するハウジングを備える。加圧組立体が、チャンバー内に配置され、ヘッドと、ヘッドから軸方向に離れて延びる薄肉スカートとを有する円筒状の加圧部材を備え、フランジが、スカートの周囲に円周状に配置される。加圧組立体は、加圧部材の背面に結合した支持具を備える。支持具は、加圧組立体の軸方向運動の間、スカートがチャンバー表面から平行移動する時スカートを支持する寸法にされた円筒状の外部表面を有する。シャフトが、支持具内の開口を通じて加圧部材内の一部の開口内に突き出す。流体移送本体が、ハウジングに取付けられ、流体入口ポートと流体出口ポートとを有する流体チャンバーを備える。アクチュエータが、ハウジングに取付けられたアクチュエータハウジング内に配置され、ハウジングチャンバー内の加圧部材が軸方向運動できるようにシャフトに結合される。ポンプは、ハウジングに接続され、加圧組立体の運動の間、チャンバー又は支持具の支持表面に対してスカートを付勢するポンプ内の所定の差圧を与える真空補助要素を備えることができる。逆止弁が、流体入口及び流体出口ポートと流体接続し、加圧組立体のそれぞれの吸入及び排出行程の間、流体チャンバーを出入りする流体の強制された一方向の通過を確実にする。
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