【課題】 気体の流通状態を制御するための経路開閉手段の調整を容易に行うことのできる流路切替ユニット、並びに、これを用いた吸着保持ユニット及び気圧作動ユニットを提供する。
【解決手段】 本発明の流路切替ユニットは、気体が流通可能に構成され、経路途中に中途開口部１１Ｐを備えた通気経路１１Ｓを備えた本体１１と、通気経路における中途開口部より下流側にて通気経路の少なくとも一部を開閉可能とする経路開閉手段１３とを備えたものであり、経路開閉手段は、通気経路の端部開口１１Ｓｂに外側から臨み、所定の動作方向に移動可能に構成されて通気経路の開閉動作を実現する動作部１３ｂと、動作部を本体に支持された所定の基準部位１３ａに対して動作方向に駆動する駆動機構１３ｃとを備え、基準部位を本体に対して動作方向に位置調整可能に構成する位置調整手段１２，１８，１１ｃをさらに有する。 （もっと読む）