【課題】高精度の機械加工を行うため、静圧軸受等に供給する圧油に脈動を生じることなく圧送することができる精密加工機の油圧供給装置を提供する。
【解決手段】本願発明の油圧供給装置は、コンプレッサ（第一圧縮空気供給機）３０と、このコンプレッサ３０で得られた圧縮空気を増圧する増圧弁（ブースターシリンダ）３１と、増圧弁３１で得られた圧縮空気を第二圧縮空気として供給装置貯蔵するレシーバタンク（第二圧縮空気供給機）３２と、レシーバタンク３２で得られた圧縮空気を介して圧力を有する油圧に変換して圧力変動を吸収するアキュムレータ３３と、静圧軸受に使用された作動油を回収する圧油タンク３５と、を備えて構成し、油圧の脈動や変動を防止・減少させている。また、さらに湯の温度を安定にするための油温調節ユニットを備え、油温についても安定に供給している。 （もっと読む）