Fターム[3J046BA08]の内容
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Fターム[3J046BA08]に分類される特許
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シールユニット、板状加工装置及び半導体製造装置
【課題】精度良く且つ容易に加工を行うことが出来るにもかかわらず、シール効率を高めることができる、板状物用のシールユニットを提供する。
【解決手段】下側部材30の上面31を上側部材20の下面24に密着させ、且つ下側部材30の背面34を取り付け板10の表面に密着させて取り付けることで、シールユニットSUが組み立てられる。このとき、下側部材30の凹部32と、上側部材20の下面24とで囲われる空間が、帯金Wが通過する開口APとなる。
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