【課題】 一対の長尺アームの一方に発生する横振動を効果的に抑制することができる平行リンク機構、及びそれを用いたワーク搬送装置を提供する。
【解決手段】 基端部材９と、基端部材９に対して回転可能に支持される長尺アーム７ｂと、長尺アーム７ｂの先端に回転可能に支持されと共に基端部材９に対して平行に配置される出力部材１９と、出力部材１９及び基端部材９にそれぞれ回転可能に支持されると共に長尺アーム７ｂから所定間隔をおいて平行に延設される第二長尺アーム７ａと、を有する平行リンク機構２５において、長尺アーム７ｂ及び第二長尺アーム７ａにそれぞれ回転可能に支持されると共に第二長尺アーム７ａの横振動を抑制する制振部材２５を備える。 （もっと読む）

【課題】振動、特に共振現象を好適に抑制し得る搬送装置を提供する。
【解決手段】このモノキャリア１０（搬送装置）は、対象を搬送すべき一軸方向に沿って延びる転動体転動溝２５を有するベース２０と、そのベース２０の転動体転動溝２５に対しその一軸方向の一方側と他方側とのそれぞれにスライド移動可能に設けられる複数の可動部材４０と、その複数の可動部材４０を前記一軸方向で駆動可能に当該一軸方向に沿って設けられるねじ軸３０と、そのねじ軸３０の途中部分での前記複数の可動部材４０同士の間をねじ軸３０の回動を許容しつつベース２０に対して支持する中間サポータ１（振動抑制手段）と、を備えている。 （もっと読む）

ターボ分子真空ポンプ（５４）は、ハウジング（７０）と、軸受装置（６４）によって支持され、ハウジング（７０）に対して回転するロータ（５２）と、を含む。軸受装置（６４）は、複数の可撓性部材（８４）によって連結された内側環状部分（８６）および外側環状部分（８８）を含む弾性支持体（８０）によって半径方向および軸線方向の両方に支持された軸受（７２、７４、７６、７８）を含み、弾性支持体（８０）は、５０乃至５００Ｎ／ｍｍの範囲の半径方向剛性を有する。 （もっと読む）

【課題】 必要に応じて除振装置の弾性支持機能を無くして除振対象物を基部側に固定することにより、該除振対象物の静止状態を維持する。
【解決手段】 基部２１上に除振対象物２０を弾性支持する除振装置１において、除振対象物２０と基部２１との間に、該除振対象物２０を基部２１に固定自在な固定手段３０を設ける。 （もっと読む）