【課題】 スライダを浮上させるための空気膜を効率的に発生させることのでき、また、低廉簡易に案内剛性を高くすることのできる、超音波ガイドユニットを提供する。
【解決手段】 加振時の節位置に少なくとも１個の径拡大部を形成する共に水平設置されるロッド状のホーンと、該径拡大部を微小なクリアランスをもって囲繞して該径拡大部の周面をガイド面として該ホーンの軸線方向に移動可能で、該径拡大部の幅より広幅寸法を有するスライダと、該ホーンの少なくとも１端面に連結固定される超音波振動子とを有し、該径拡大部はその周面が加振時の腹位置となる外郭寸法を有し、ホーンとスライダとの間に空気膜を形成してスライダをホーンと非接触状態で浮上させることを特徴とする。 （もっと読む）