【課題】ヒータプレートの熱応力による変形を防止するとともに、熱伝導性が良く、耐久性の高いヒータプレート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のヒータプレート１は、アルミニウム又はアルミニウム合金基部材２に内部部品としてシースヒータ３が収納され、その上から接合用アルミニウム又はアルミニウム合金部材４を鍛圧圧接して密封した構造を持ち、２枚のプレートを接合する従来の方法に比べて、コストや生産性等の点で優れ、半導体製造装置や液晶製造装置等の各種薄型ディスプレー（ＦＰＤ）製造装置のヒータプレートとして使用可能である。また、ＰＴＰシートの製造装置等のヒータプレート一般に用いることができる。 （もっと読む）