【課題】装置の耐久性を向上させることが可能な給電部材及びそれを用いた加熱装置を提供する。
【解決手段】給電部材１００は、給電対象に接続する第１棒状部材１０１と、電源に接続する第２棒状部材１０３と、第１棒状部材１０１と第２棒状部材１０３との間に設けられ、第１棒状部材１０１と第２棒状部材１０３と比較して、軸方向の断面積が小さく、且つ、表面積が大きい熱機能部材１０２とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ヒータランプへの入力電力を大きくし高出力化しても、ヒータランプのバルブが黒化せず、しかも、被処理物を加熱するチャンバー内にバルブからの不純物が放出されない加熱ユニットを提供するものである。
【解決手段】 本発明の加熱ユニットは、ヒータランプ１を備えた加熱ユニットにおいて、ヒータランプ１を内蔵する両端に封止部１２が形成された外管２を有し、外管２内に冷却ガスを流すことを特徴とする。そして、外管２に冷却ガス流入管２２と冷却ガス流出管２３を設け、冷却ガス流入管２２と冷却ガス流出管２３によって、外管３を基台３に支持されている。さらには、ヒータランプ１は、内部にフィラメント１１を有し、外部リード棒１３がヒータランプ１の封止部１２から突出し、給電部材６が接続され、給電部材６が冷却ガス流入管２２と冷却ガス流出管２３内に挿通されている。 （もっと読む）