【課題】 表層流型流動炉を用いて、活性コークスを高収率に製造できる、生産性に優れた活性コークスの製造方法を提供する。
【解決手段】 流動炉本体２の上部には、被処理物ａの装入部２６、排ガス用排気部２７が、側部には処理物ｂの排出部２５が、設けられ、下部には、流動用ガスｇ供給のガス供給部４１〜４４が設けられている。そして、流動層が形成される流動炉本体２の内部をバッフルプレート３１、３２、３３により縦方向に仕切り、複数の流動領域２１、２２、２３、２４を形成し、被処理物ａを入口側の流動領域２１から出口側の流動領域２４に向けて、前記バッフルプレート３１、２２、３３を順次、オーバーフローさせて移動させながら連続的かつ段階的に流動処理する。 （もっと読む）

【課題】 効率的でかつ廉価な基板の乾燥方法を提供する。
【解決手段】 リンス処理（リンス工程 Ｓ１）後、まず、窒素による圧送により、ウエハ２０が配置された密閉処理容器１２に残留した超純水等の水分が密閉処理容器１２の下部から排出される（リンス液排出工程 Ｓ２）。つぎに、低温状態下にある密閉処理容器１２内に窒素を高速で吹き込んで、密閉処理容器１２内に残存する超純水等を吹き飛ばして排出する（残存液除去工程 Ｓ３）。つぎに、ＩＰＡ蒸気を同伴した窒素を密閉処理容器１２内に供給する（残存液置換工程 Ｓ４）。最後に、密閉処理容器１２内を大気圧未満の所定の圧力に減圧しながら、窒素を密閉処理容器１２内に吹き込んで乾燥を終了させる（乾燥工程 Ｓ５）。 （もっと読む）

【課題】 省エネルギーを図ることができ、且つ乾燥対象物に焦目が付かないように乾燥状態を制御し得るマイクロ波乾燥装置の運転方法を提供する。
【解決手段】 真空ポンプ５０及び加熱ヒータ１２によって減圧下で加熱されている乾燥槽１０内に載置された乾燥対象物に、マイクロ波発信器１６、１６・・からマイクロ波を照射して脱水処理を施すマイクロ波乾燥装置を運転する際に、該真空ポンプ５０の排気管５２から排出される排気中の湿度を湿度センサ５４によって測定し、排気中の湿度が低下したとき、マイクロ波発信器１６、１６・・のマイクロ波の照射出力を次第に低下するように、マイクロ波発信器１６、１６・・を制御することを特徴とする。 （もっと読む）

【目的】加熱装置を用いない真空乾燥機を提供する。
【構成】被乾燥物４を収納して内部を気密可能とする気密槽と、該気密槽内を排気する排気装置とを有する真空乾燥機において、前記気密槽内に前記被乾燥物を保持するための定温保持装置１を備えることを特徴とする真空乾燥機。 （もっと読む）