【課題】光カチオン性重合開始剤、化学増幅型レジスト用酸発生剤等として有用な、ヘテロ環含有ヨードニウム塩を提供すること。
【解決手段】一般式３５


｛式中、Ｒ^２６及びＲ^２７は夫々独立して、ハロゲン原子若しくは炭素数１〜６のアルキル基を置換基として有していてもよいアリール基、キサントン基、クマリン基を表し、Ａ_３は、ハロゲン原子、又は無機強酸、有機酸若しくはキサントン基、クマリン基のアニオンを表す。但し、少なくとも一方が、キサントン基、クマリン基である場合、Ａ_３は、一般式３６


（式中、Ｍ_３は、リン原子、ヒ素原子又はアンチモン原子を表す。）で示される無機強酸、有機酸又はキサントン基、クマリン基のアニオンである。｝で示されるヘテロ環含有ヨードニウム塩。 （もっと読む）