【課題】ピンチプラズマのパルス生成器を提供する。
【解決手段】パルス放電型極紫外線（ＥＵＶ）光源のための磁気的にシールドされた効率的なプラズマ生成構造であって、定常磁場に平行な軸に取り付けられる２つの対向する凸電極１０、２０を含む。電極間に配置されるリミッタ開口は、磁場線と共に、電極間をつなぐ中空プラズマシリンダ９０を画定する。高パルスの電圧および電流は、プラズマシリンダ９０およびその内部磁場を圧縮し、同時に各側面から電極チップ間の空間に向けて活動ガスを進めるような磁気絶縁層を形成する。プラズマは次いで径方向に３次元圧縮するように崩壊し、デバイスの軸上に、極紫外線の放出を伴う高密度プラズマを形成する。 （もっと読む）

【課題】試料を高分解能で検査することが可能なＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【解決手段】固定ベース４０と、電子を放出する電子銃１１と、電子銃１１から放出された電子が衝突する陽極ターゲット１２と、陽極ターゲット１２を支持するヘッド部１５Ｂ及びボディ部１５Ａを有するとともに電子銃１１を収容する真空外囲器１５と、を有するＸ線管１０と、Ｘ線管１０から放出されたＸ線を検出するセンサ２０と、Ｘ線管１０とセンサ２０との間に位置するとともに試料を保持する試料ステージ３０と、ボディ部１５Ａを固定ベース４０に固定する第１固定部材５０Ａと、ヘッド部１５Ｂを固定ベース４０に固定する第２固定部材５０Ｂと、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、単色Ｘ線を生成するための高速ピコ秒パルス化レーザと共に使用し得る、ファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、平均出力Ｐ_ＭＯＹで高い安定性を有する強力集束されるポンプ化レーザビームを得るために使用し得るファブリーペロ型の増幅光共振器に関する。本発明は、より具体的には、高速ピコ秒ポンプ化レーザビーム（１２）と同期電子ビームとの間のＣＯＭＰＴＯＮ反応によって単色Ｘ線を生成するためのファブリーペロ型の増幅光共振器（４０）に関し、共振器は真空下に配置し得る閉塞囲壁（４２）を含み、閉塞囲壁を通じて電子ビーム管（４６）が延び、囲壁（４２）は、レーザビーム入力手段と、２つの平面光反射器（Ｍ１，Ｍ２）を維持し且つ位置決めするための手段と、相互作用地点で電子ビームと集束し得る２つの球面光反射器（Ｍ３，Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段とを含む。光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）を維持し且つ位置決めするための手段は、光反射器（Ｍ１乃至Ｍ４）が四面体の頂点を実質的に定めるよう配置される。

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