【課題】シーム溶接等の作業を高真空環境にて処理するための高真空環境維持方法が構築されておらず 近年の新たなる各種部品製造方法 断熱機能として高真空環境における処理方法の必要性を生じている。
今後に於いて、 空気中環境では、発火現象を来す場合 高真空の環境に設定後 発火防止するガスを導入して発火現象を起こさない部品生産へも有効でないかと考えられる。
【解決の手段】高真空室１と大気側２の隔壁構造において 高真空と大気側の中間に低真空室５エリアを設け 各シール部の真空差を小さくして 真空差を段階的調整可能とする隔壁構造とした。 （もっと読む）

【課題】 電子ビーム加工で使用するためのチャンバ構造を提供する。
【解決手段】 ワークピースの真空電子ビーム溶接用のチャンバ構造１００は、チャンバを画定しかつ少なくとも１つのロード／アンロード開口部３０を有するチャンバハウジング２６と、ロード／アンロード開口部３０を囲みかつロード／アンロード開口部３０に対して回転軸線を中心に回転可能であるようにチャンバハウジング２６に支持されるリング２と、ロード／アンロード開口部３０をシールして閉じるためにリング２に接続されかつロード／アンロード開口部３０に対してリング２と共に回転可能であるチャンバ閉鎖部３とを備えること特徴とする。 （もっと読む）