【課題】ハウジング内の低圧電離ガスをプラズマ化して、カソード電極から電子ビームを照射する表面改質装置として、被照射体の孔の内側面に対して照射改質ができる装置を提供する。
【解決手段】電子ビームのパルスを発生照射するカソード電極を近傍に磁石を併置した状態として改質装置の主軸突端に取り付け、該主軸突端を取り付けてあるカソード電極の外側面が、被照射体の改質すべき孔内側面相対向するように孔内に挿入した状態として電子ビームのパルスを発生させる。 （もっと読む）