【課題】 固体レーザによるビアホール加工の生産性を改善することを目的とする。
【解決手段】 ２つ以上の波長を発生するレーザ発振器を具備し、高調波発生装置またはビーム切り替えにより、波長を選択する手段を配して、主加工を基本波で従加工を高調波で行う事により、スミア発生の少ないビアホール加工を高生産性維持しながら実現する。 （もっと読む）